應(yīng)用方向:高校微電子教學(xué)及科研、實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析
測(cè)試器件類型:光電芯片、GaN芯片、RF芯片、有機(jī)器件、OLED等
測(cè)試參數(shù):IV,CV,S參數(shù),阻抗參數(shù)
配合儀器:B1500A半導(dǎo)體器件分析儀,B2900A 源測(cè)量單元,E4980A LCR表,E5071C阻抗分析儀,N5245A矢網(wǎng)等
MPS150A是專用的探針臺(tái)解決方案,適合需要在短的時(shí)間內(nèi)精確 對(duì)半導(dǎo)體元器件及材料、晶圓片進(jìn)行IV/CV測(cè)試的用戶使用。結(jié)合半導(dǎo)體器件分析儀可作為實(shí)驗(yàn)室的器件分析測(cè)試平臺(tái)。
MPS150A 探針臺(tái)為保護(hù)樣片測(cè)量周期內(nèi)高質(zhì)量的接觸,通過(guò)非常 穩(wěn)定的系統(tǒng)平臺(tái)設(shè)計(jì),完美的振動(dòng)隔離方案,能夠讓用戶取得想要 的測(cè)量精度。工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)探針座經(jīng)過(guò)優(yōu)化光學(xué)和無(wú)反向間隙X-Y-Z移 動(dòng),接觸分離驅(qū)動(dòng)達(dá)到1μm重復(fù)性,相對(duì)于半自動(dòng)探針臺(tái)探針座擺 放更加精密。高質(zhì)量的三同軸信號(hào)線纜保證測(cè)試特性電流達(dá)到fA級(jí)別低噪聲。
載片臺(tái)可提供加熱變溫選件,讓器件測(cè)試更加容易。載片臺(tái)采用快速推拉式設(shè)計(jì), 可單手調(diào)節(jié)操作, 高度平整的表面及可 移動(dòng)性,讓初學(xué)者和用戶容易操作上手
該探針臺(tái)設(shè)計(jì)具有可升級(jí)和擴(kuò)展性,例如可升級(jí)阻抗測(cè)量(配合阻抗分析儀),電容測(cè)試可達(dá)fF級(jí)別。保護(hù)用戶的一次性投資
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chuck尺寸能測(cè)哪些規(guī)格的晶元?X-Y移動(dòng)行程多少?
技術(shù)指標(biāo):
可測(cè)試Wafer尺寸:2英寸~6英寸
Chuck XY向行程:160mm*160mm
Chuck移動(dòng)分辨率:旋鈕調(diào)節(jié)
Chuck旋轉(zhuǎn)范圍: ±5°微調(diào),360°粗調(diào)
Chuck Z向接觸分離:1mm
Chuck 真空: 分三檔輸入
臺(tái)面Z向行程:25mm,接觸分離1mm
上下片方式:快速抽拉上下片
視頻顯示系統(tǒng):雙目體式顯微鏡標(biāo)配(45X)LED環(huán)形燈, 選配CCD工業(yè)相機(jī),實(shí)時(shí)芯片圖像
顯微鏡機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié):XY向±25mm,Z向±35mm
遮光屏蔽罩:選配
探針:直流鎢針、射頻微波探針
探針座:精密千分尺結(jié)構(gòu),X,Y,Z三向可調(diào)節(jié),磁力座
外形尺寸:610mm×560mm×500mm(長(zhǎng)×寬×高)
設(shè)備重量: 約40 KG
使用環(huán)境:電源220VAC,功率0.05kW,真空-80kPa,環(huán)境溫度15ºC~30ºC,相對(duì)濕度<60%
裝箱清單
MPS150A 6英寸精密手動(dòng)探針臺(tái)主機(jī)
SR-SCOPE 雙目體式顯微鏡90X(可選配金相顯微鏡)
SR-CCD 工業(yè)相機(jī)CCD,選配
SR-VP 進(jìn)口靜音真空泵
SR-T100DC 精密直流磁吸附探針座,線性解析2μm
SR-T60DC 精密直流磁吸附探針座,線性解析0.7μm
SR-T60RF 精密射頻微波磁吸附探針座,帶射頻仰角機(jī)構(gòu)
SR-TTH 低漏電直流探針桿,帶Triax線纜
SR-GGB-DC 直流鎢針,針尖直徑1μm到20μm可選
SR-GGB-RF 射頻微波探針,DC-40GHz/67GHz/110GHz
SR-PCA 探針卡適配器
SR-300C 變溫控制臺(tái)
SR-SB 遮光屏蔽罩
SR-VT 防震桌,根據(jù)尺寸要求定制光學(xué)防震平臺(tái)
售后保障
保修3年,免費(fèi)安裝培訓(xùn)。