服務(wù)熱線
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特點(diǎn) / 應(yīng)用 l 滿足I-V/C-V,PIV測(cè)試,光電測(cè)試等 l 最大可用于6英寸以內(nèi)樣品測(cè)試 l 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu),線性移動(dòng) l 可放置于手套箱內(nèi)使用 l 形狀輕巧,操作方便,價(jià)格實(shí)惠 |
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尺寸 |
4英寸/6英寸 |
水平旋轉(zhuǎn) |
可360度旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置 |
X-Y移動(dòng)行程 |
4英寸*4英寸 |
X-Y移動(dòng)精度 |
10微米 |
樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié) |
可升降10mm |
樣品固定 |
真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán) |
針座平臺(tái) |
U型針座平臺(tái),最多可放置6個(gè)探針座 |
背電極測(cè)試 |
樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空,4mm插孔可接背電極 |
外形尺寸 |
400mm長(zhǎng)*400mm寬*500mm高 |
重量 |
約25千克 |
l 光學(xué)系統(tǒng):
顯微鏡類型 |
單筒顯微鏡/體式顯微鏡 |
放大倍率 |
16X-200X |
移動(dòng)行程 |
水平方向繞立柱360度旋轉(zhuǎn),Z軸50.8mm |
光源 |
外置LED無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源 |
CCD |
200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
l 定位器:
X-Y-Z移動(dòng)行程 |
12mm*12mm*12mm |
移動(dòng)精度 |
10um/2um/0.7um/0.5um |
吸附方式 |
磁力吸附/真空吸附 |
線纜 |
同軸線/三軸線 |
漏電精度 |
10pA/100fA/10fA |
固定探針 |
彈簧固定/管狀固定 |
接頭類型 |
BNC/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
針尖直徑 |
0.2um/1um/2um/5um/10um/20um |
針尖材質(zhì) |
鎢鋼/鈹銅 |
l 可選附件
加熱臺(tái) |
顯示器 |
轉(zhuǎn)接頭 |
射頻測(cè)試配件 |
屏蔽箱 |
光學(xué)平臺(tái) |
鍍金卡盤 |
光電測(cè)試配件 |
PS:探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制。
規(guī)格及設(shè)計(jì)如有更改,恕不另行通知。
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