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測量精度首先取決于接觸質(zhì)量。高度可精準(zhǔn)重復(fù)的 (1 um精度) 針座臺(tái)設(shè)計(jì)與三個(gè)獨(dú)立的檔位劃分:接觸(0μm)、分離 (300 um) 和載片 (3 um) 與安全鎖設(shè)計(jì)是目前市面上絕無僅有的功能。這些功能防止意外損壞探針或晶圓, 同時(shí)提供直觀的控制和準(zhǔn)確的接觸定位,這種能力在高頻和大功率應(yīng)用中尤其重要, 以達(dá)到最準(zhǔn)確的測量結(jié)果。
對(duì)于 TS200 和 TS300,還可以額外提供帶有懸停高度 (50,100 或 150 um)的裝置, 可輕松方便地使探針與待測樣品電極對(duì)齊。
Height Adjustment Scale 高度精調(diào)設(shè)計(jì)
針座臺(tái)有25mm 的精細(xì)高度調(diào)整, 可以應(yīng)對(duì)各種應(yīng)用. 1mm 精確刻度給出了探針離開樣品的直接位置反饋。
Compact and Rigid Platen Design 緊湊、靈活的針座臺(tái)
緊湊、靈活的針座臺(tái)可容納多達(dá)10組直流或4組射頻針座,可滿足各種應(yīng)用要求。
Various Chuck Potions 豐富的樣品臺(tái)規(guī)格選擇
手動(dòng)系統(tǒng)可用各種卡盤選項(xiàng)來滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用要求. 卡盤選項(xiàng)包括 MPI 的同軸或三軸樣品臺(tái)或各種ERS高低溫卡盤, 以支持高達(dá)300度的溫度測量。
并包含無縫集成的加熱臺(tái)控制器, 方便快捷的閱覽和操作。
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