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MPI 手動直流/射頻探針臺

MPI TS150、TS200、TS300每一款都包含許多令人興奮的功能, 使日常操作更簡單、直觀、方便, 同時確保了高精度測量。

Unique Platen Lift with Probe Hover Control 具有探頭懸停控制的獨特控制技術(shù)

測量精度首先取決于接觸質(zhì)量。高度可精準重復(fù)的 (1 um精度) 針座臺設(shè)計與三個獨立的檔位劃分：接觸（0μm）、分離 (300 um) 和載片 (3 um) 與安全鎖設(shè)計是目前市面上絕無僅有的功能。這些功能防止意外損壞探針或晶圓, 同時提供直觀的控制和準確的接觸定位,這種能力在高頻和大功率應(yīng)用中尤其重要, 以達到最準確的測量結(jié)果。

對于 TS200 和 TS300,還可以額外提供帶有懸停高度 (50,100 或 150 um)的裝置, 可輕松方便地使探針與待測樣品電極對齊。

Height Adjustment Scale 高度精調(diào)設(shè)計

針座臺有25mm 的精細高度調(diào)整, 可以應(yīng)對各種應(yīng)用. 1mm 精確刻度給出了探針離開樣品的直接位置反饋。

Compact and Rigid Platen Design 緊湊、靈活的針座臺

緊湊、靈活的針座臺可容納多達10組直流或4組射頻針座，可滿足各種應(yīng)用要求。

Various Chuck Potions 豐富的樣品臺規(guī)格選擇

手動系統(tǒng)可用各種卡盤選項來滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用要求. 卡盤選項包括 MPI 的同軸或三軸樣品臺或各種ERS高低溫卡盤, 以支持高達300度的溫度測量。
并包含無縫集成的加熱臺控制器, 方便快捷的閱覽和操作。