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腐蝕機適用于半導(dǎo)體工藝中對硅片周邊進行濕法化學腐蝕形成均勻一致的斜角,本設(shè)備技術(shù)先進,適用于規(guī)模生產(chǎn)。本設(shè)備是由電氣控制、機架、箱體、槽體、管路、等部分組成。槽體是由去離子水洗槽、有機溶劑槽、酸槽、堿槽構(gòu)成。硅片腐蝕機管路部分為保證工作介質(zhì)的潔凈和避免雜質(zhì)析出,特采用進口氣動閥、PFA、PVDF、管道,全氟循環(huán)系統(tǒng)。除裝片和取片外,其余工藝均可自動完成。電控部分:人機界面為觸摸屏,方便美觀。
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