網(wǎng)站首頁

中|EN

當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 光刻設(shè)備 » 步進(jìn)光刻機(jī) »ASML PAS 5000/55
    •
    包郵 關(guān)注:1130

    ASML PAS 5000/55

    產(chǎn)品品牌

    ASML PAS 5000/55

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付
    • 商品詳情
    • 商品參數(shù)
    • 評價詳情(0)
    • 裝箱清單
    • 售后保障

    品牌：ASML PAS 5000/55

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-光刻設(shè)備-步進(jìn)光刻機(jī)

     一、基本參數(shù)：

        工    藝：I線光刻機(jī)

        工藝能力：0.5微米

        襯底尺寸：4英寸、5英寸、6英寸、8英寸

    傳片方式：皮帶單片傳送，片架到片架傳送

    二、設(shè)備配置：

        硅片傳輸系統(tǒng)

        掩膜版自動傳輸系統(tǒng)

        633nm激光對準(zhǔn)系統(tǒng)

    照明系統(tǒng)500W汞燈光源，365nm波長

    二維精密XY工作臺

        預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)

        環(huán)境控制器

    三、工藝指標(biāo)

    PAS5000光刻機(jī)是ASML公司生產(chǎn)的I線步進(jìn)式光刻，其投影背率5：1，曝光波長為365nm，分辨率為0.5um，最大曝光場大小為15mm*19mm。設(shè)備匹配對準(zhǔn)精度0.1um。

    咨詢

    購買之前，如有問題，請向我們咨詢

    提問:
     

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品：

    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價格和優(yōu)惠

    微信公眾號