服務(wù)熱線
4001027270
NSR1505g4D主要用于CD線寬不超過0.75μm器件的生產(chǎn)。
主要技術(shù)指標
分辨率 |
0.75μm |
Resolution |
0.75 |
N.A. |
0.45 |
N.A. |
0.45 |
曝光光源 |
436nm |
Exposure light source |
436nm |
倍率 |
1:5 |
Magnification |
1:5 |
最大曝光市場 |
15mmX15mm |
Maximum Exposure area |
15mmX15mm |
對準精度 |
180nm |
Alignment accuracy |
180nm |
提供3”、4”、5”、6”、設(shè)備改造。
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