TPS200-HP高功率器件測試探針臺(tái)針對高功率器件（整流二極管、IGBT、GaN、SiC）晶圓片測試而設(shè)計(jì)的一體化在片測試解決方案?？商峁?kV（三同軸）、10kV(同軸)及高達(dá)600A的大電流測量能力。¬¬¬¬結(jié)合Siradar公司特制的微型腔體，進(jìn)口溫控系統(tǒng)，支持晶圓的變溫測試從-55℃~300℃或常溫~300℃。探針臺(tái)載片臺(tái)平面采用鋁合金鍍金保證測試過程中的低接觸電阻、超薄晶圓片處理和功率耗散，同時(shí)提供低漏電噪聲的保護(hù)及屏蔽環(huán)境。為了保證高壓測試的人身安全，TPS200-HP探針臺(tái)采用了安全互鎖系統(tǒng)機(jī)構(gòu)和測試系統(tǒng)級聯(lián)，屏蔽門關(guān)閉后高壓才能輸出，帶高壓指示燈。配置高壓大電流信號(hào)轉(zhuǎn)接板，無縫連接功率器件參數(shù)分析系統(tǒng)線纜接口，保證高壓大電流測試的精度指標(biāo)。
TPS200-HP高功率器件測試探針臺(tái)可通過半自動(dòng)載片臺(tái)實(shí)現(xiàn)高功率晶圓片的自動(dòng)化在片測試。
性能特點(diǎn)：
晶圓在片測試能力:最高電壓10kV、最大電流200 A（脈沖）、20A （直流）
高功率載片臺(tái)表面 ：防止測試過程中晶圓翹曲和碎裂
特殊鍍金處理：最低的晶圓表面和載片臺(tái)接觸電阻，保證 Rds(on) 大電流測試精度
安全操作：測試過程中互鎖機(jī)構(gòu)保證操作工的人身安全
上下片方式 ：載片臺(tái)抽屜式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，放片取片只需輕推輕拉即可實(shí)現(xiàn)人工上下片
信號(hào)連接： 信號(hào)轉(zhuǎn)接套件結(jié)合Keysight分析測試儀器，簡單快捷實(shí)現(xiàn)測試系統(tǒng)的搭建
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