IPG最新發(fā)布的IX-280-ML加工中心可支持兩臺激光器，使其在微加工應用上具有最大的適應性和靈活性。該加工中心由微動平臺、視覺系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)和集成的一臺或兩臺激光器組成。每臺激光器都有獨立的光路，包括定焦系統(tǒng)、整形系統(tǒng)、振鏡掃描或切割頭，支持光纖輸出或空間光輸出。

IX-280-ML加工中心可應用于對設備靈活性要求高的研發(fā)領域和較厚材料的精密微加工生產(chǎn)領域。該系統(tǒng)激光器針對所有應用都進行了優(yōu)化，通過共用微動平臺、控制系統(tǒng)，實現(xiàn)對多種材料的精密加工。標準配置包括1070nm的切割頭和193nm的加工頭，或1070nm的切割頭和532nm的掃描頭。激光器可在訂貨時指定或在以后需要時升級。

• 特點

• 激光器工作波長：193、248、532或1070nm
• X-Y位移精度：<5μm
• Z-θ精度：<10μm，±0.02μm
• 切割頭可選
• 集成了步進工作臺和振鏡掃描系統(tǒng)
• 視覺系統(tǒng)分辨率為每像素0.12μm
• 支持DXF和CSV文件

• 應用

• 切割和打孔：藍寶石、陶瓷、金屬、玻璃、高分子聚合物和半導體材料
• ITO及其它薄膜刻膜
• 激光清洗：聚對二甲苯、聚酰胺等高分子聚合物
• 玻璃和高分子聚合物微流體的3D微加工
• 激光剝離：GaN，AlN等

• 參數(shù)

參數(shù)
基礎平臺	Ⅰ類激光系統(tǒng)，花崗巖防震平臺和光路支撐結(jié)構(gòu)及激光器都集成在一個激光焊接的重型框架內(nèi)，占地面積960×1220mm
配置選項
波長	193nm	248nm	532nm	1070nm
整形光束 (聚焦)	可選	可選	可選	可選
整形光束 (掩膜)	可選	可選	可選
振鏡掃描頭 (模擬或數(shù)字)			可選	可選
工作臺
運動控制系統(tǒng)	運動控制系統(tǒng)
X-Y平臺	200×200mm；精度：±5μm，行程不低于125μm，（±3μm可選）；
	重復精度：<1.0μm
Z-θ調(diào)節(jié)	手動標準調(diào)節(jié)架或高精度調(diào)節(jié)架、電動調(diào)節(jié)架可選
旋轉(zhuǎn)工作臺	最大加工直徑為10mm；安裝在X-Y平臺上
光束整形及掃描
光束傳輸	支持光纖輸出或空間光輸出
激光光束	依據(jù)應用要求，縮束或擴束
振鏡	2維掃描，幅面40×40mm；模擬和數(shù)字接口可選
切割頭	集成了吹掃噴嘴，可選項包括焦距、噴頭直徑和數(shù)量
光束特性
功率計	加工面功率測量和數(shù)據(jù)日志記錄，可編程測量和功率調(diào)整
光束質(zhì)量	193和248 nm可選，顯示和記錄掩膜面、加工面上的光束能量分布的統(tǒng)計數(shù)據(jù)
脈沖能量監(jiān)測	193和248nm可選，測量和記錄每個激光脈沖的能量
視覺系統(tǒng)及準直
雙攝像頭	MicroTech Vision System，為加工和檢查分別提供8.3和0.12μm/ pixel的攝像頭
可編程照明	為成像及準直的自動優(yōu)化，提供可編程的照明光強控制
準直	攝像頭自動準直和加工位置調(diào)整