TM-03型膜厚測量儀 天津華海清科機電 設(shè)備商城
TM-03型膜厚測量儀是TM-02的升級機型,在二維精密測量平臺基礎(chǔ)上集成了機械手和硅片裝載臺,可實現(xiàn)整盒晶圓全自動測量及數(shù)據(jù)采集分析。本產(chǎn)品適用于IC制造生產(chǎn)線的實時監(jiān)測、終端結(jié)果評價,也可與平坦化設(shè)備集成用于在線測量,具有對測量樣品無損傷、自動晶圓校準(zhǔn)、測量重復(fù)性好、可靠性高、操作便捷等特點。
TM-03技術(shù)優(yōu)勢:
1. 寬量程范圍、非接觸、無損測量;
2. 晶圓自動裝載、自動取放片、自動尋notch定位;
3. 重復(fù)性更高,可靠性更好。
TM-03技術(shù)指標(biāo):
TM-02型膜厚測量儀
TM-02型膜厚測量儀,采用了臺式設(shè)計,可以替代四探針在IC制作中的應(yīng)用。該測量儀通過非接觸式的方式進行厚度測量,采用高精度晶圓臺及晶圓自動吸附尋零機構(gòu),可適用于多種尺寸材料的測量,具有測量速度快、重復(fù)性好、對樣品無損傷,操作便捷等特點。
TM-02技術(shù)優(yōu)勢:
1.寬量程范圍,非接觸、無損測量(不會對測量材料表面造成損傷);
2. 測量速度快,速度提升40%;
3. 重復(fù)性提升5倍,可靠性更好;
4. 測量材料尺寸范圍廣。
TM-02技術(shù)指標(biāo):