全自動爐管清洗設(shè)備 硅密(常州)電子設(shè)備
本設(shè)備為浸泡式清洗機,用于擴散、外延等設(shè)備的石英管,碳化硅管的清洗
設(shè)備功能:用于石英爐管的清洗,操作員手工放入,在清洗槽內(nèi)自動旋轉(zhuǎn),酸腐蝕后DIW沖洗,然后手工取出。
• 不銹鋼骨架,白色的PP外殼,底盤采用擠出式焊接工藝,杜絕滲漏風(fēng)險;
• 機臺側(cè)部安裝有可旋轉(zhuǎn)式的觸摸屏;
• PLC控制工藝過程,用戶界面進行編程和監(jiān)控;
• 工藝槽內(nèi)石英爐管可做旋轉(zhuǎn)運動,有一定的傾斜角度以利于排空內(nèi)部液體; 清洗槽左右兩端設(shè)有美國進口純水噴槍和氮氣噴槍。
• 工藝槽內(nèi)石英爐管可做旋轉(zhuǎn)運動,有一定的傾斜角度以利于排空內(nèi)部液體;
• 后部的排氣裝置,有可調(diào)節(jié)的氣閘;
• EMO緊急按鈕;
• 三色警燈;
• 前部和后部維修門設(shè)計;
• 后部自動供酸系統(tǒng)接口設(shè)計;
• 清洗槽左右兩端設(shè)有進口純水噴槍和氮氣噴槍。
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SPMC的生產(chǎn)車間寬敞,布局合理,有1600平米加工制造車間、高精度的CNC加工中心、大尺寸雕刻機;200平米千級和萬級的潔凈室;配備潔凈空氣、氮氣及去離子水;208伏和308伏的三相電壓;配套了先進的進口焊接、剪裁、測試及裝配工具。
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