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    全自動石英坩堝清洗設(shè)備 硅密(常州)電子設(shè)備

    產(chǎn)品品牌

    硅密(常州)

    規(guī)格型號:

    全自動石英坩堝清洗設(shè)備

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    10000.00
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    品牌:硅密(常州)

    型號:全自動石英坩堝清洗設(shè)備

    所屬系列:半導體清洗設(shè)備-強酸堿腐蝕清洗-半導體材料腐蝕清洗機

    全自動石英坩堝清洗設(shè)備   硅密(常州)電子設(shè)備

    自動的石英坩堝清洗機是利用濕法的化學工藝來清洗石英部件。在清洗的過程中,HF附帶DI水及加壓氮氣被做為蝕刻劑,石英坩堝的移動是通過PLC控制多向的自動化機械手臂來完成系統(tǒng)的操作。

    設(shè)備主體結(jié)構(gòu)由清洗機箱體、漏盤、上下噴淋系統(tǒng)、活動托盤、儲酸系統(tǒng)、抽風系統(tǒng)、酸液循環(huán)系統(tǒng)、石英器皿腐蝕/清洗槽、熱風烘干系統(tǒng)、管路部分、PLC+觸摸屏電控部分。

    該設(shè)備主體上下分為三部分:上層電器控制系統(tǒng)、后部抽風系統(tǒng),中層工作區(qū),下層為管道安裝維修區(qū)、儲酸箱、DIW增壓泵、緩沖槽、酸液循環(huán)泵等。

    工藝流程:

    首先將石英坩堝放入清洗機立式活動臺,檢查水、電、氣正常,活動門封閉,然后啟動按鈕→進入酸洗程序→進入DIW洗程序→冷風預吹干→熱風吹干→冷風預冷卻→合格報警→人工用小車將石英坩堝取出清洗機,完成整個清洗工作。

     
    SPMC的生產(chǎn)車間寬敞,布局合理,有1600平米加工制造車間、高精度的CNC加工中心、大尺寸雕刻機;200平米千級和萬級的潔凈室;配備潔凈空氣、氮氣及去離子水;208伏和308伏的三相電壓;配套了先進的進口焊接、剪裁、測試及裝配工具。
     
     
    硅密(常州)電子設(shè)備有限公司
    常州新北區(qū)電子產(chǎn)業(yè)園新科路21號


     

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