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等離子體刻蝕機 北京中科信電子裝備有限公司
等離子體刻蝕(PE)是指利用能與被刻蝕材料起化學反應的氣體,通過輝光放電使之形成低溫等離子體,由此產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料未被掩蔽的部分或蝕刻表面。屬干法刻蝕設備。
等離子體處理可應用于所有的基材,甚至復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、等離子體清洗,等離子體鍍膜也毫無問題。等離子體處理時的熱負荷及機械負荷都很低,因此,低壓等離子體也能處理敏感性材料。
主要工作特點:
1.采用ICP技術,獨特的結構設計,減少射頻干擾,提高了刻蝕速率及工藝穩(wěn)定性;
2.獨特的密布小孔噴淋式設計,擴大了刻蝕范圍,并且提高刻蝕的均勻性;
3.先進的干式真空系統(tǒng)減少了油氣污染,大大提升了刻蝕的良品率;
4.具有手動/自動操作模式,方便靈活;
5.結構緊湊,占地面積小。
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