網站首頁

|EN

當前位置: 首頁 » 設備館 » 半導體加工設備 » 刻蝕設備 » 反應離子刻蝕機 »等離子體刻蝕機 北京中科信電子裝備有限公司
    包郵 關注:2179

    等離子體刻蝕機 北京中科信電子裝備有限公司

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-刻蝕設備-反應離子刻蝕機

    產品品牌

    中科信電子

    庫       存:

    100

    產       地:

    中國-北京市

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    10000.00
    交易保障 擔保交易 網銀支付
    • 商品詳情
    • 商品參數(shù)
    • 評價詳情(0)
    • 裝箱清單
    • 售后保障

    品牌:中科信電子

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-刻蝕設備-反應離子刻蝕機

    等離子體刻蝕機 北京中科信電子裝備有限公司

    等離子體刻蝕(PE)是指利用能與被刻蝕材料起化學反應的氣體,通過輝光放電使之形成低溫等離子體,由此產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料未被掩蔽的部分或蝕刻表面。屬干法刻蝕設備。

    等離子體處理可應用于所有的基材,甚至復雜的幾何構形都可以進行等離子體活化、等離子體清洗,等離子體鍍膜也毫無問題。等離子體處理時的熱負荷及機械負荷都很低,因此,低壓等離子體也能處理敏感性材料。

     

    主要工作特點: 
                  1.采用ICP技術,獨特的結構設計,減少射頻干擾,提高了刻蝕速率及工藝穩(wěn)定性;
                  2.獨特的密布小孔噴淋式設計,擴大了刻蝕范圍,并且提高刻蝕的均勻性;
                  3.先進的干式真空系統(tǒng)減少了油氣污染,大大提升了刻蝕的良品率;
                  4.具有手動/自動操作模式,方便靈活;
                  5.結構緊湊,占地面積小。

    主要技術參數(shù)

     

    咨詢

    購買之前,如有問題,請向我們咨詢

    提問:
     

    應用于半導體行業(yè)的相關同類產品:

    服務熱線

    4001027270

    功能和特性

    價格和優(yōu)惠

    微信公眾號