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    電阻蒸發(fā)鍍膜機 沈陽金研

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-熱蒸發(fā)

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-遼寧省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

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    電阻蒸發(fā)鍍膜機 沈陽金研

    1、 設(shè)備用途：利用電阻加熱產(chǎn)生熱能，將待成膜的物質(zhì)置于真空中進行蒸發(fā)或升華，使之在基片表面析出的過程。用于制備各類有機物薄膜、金屬膜、導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、光學薄膜等，廣泛應(yīng)用于大專院校、科研機構(gòu)的科研及小批量的生產(chǎn)。

    2.技術(shù)數(shù)據(jù)：
    極限真空度（分子泵系統(tǒng)） 7.0×10-5Pa 壓升率 ≤6.7×10-1Pa/H
    真空室尺寸 Ф500×450mm 電阻蒸發(fā)源功率 1KW
    電阻蒸發(fā)源數(shù)量 2套，可切換 水冷電極 3套
    樣品臺升降機構(gòu)尺寸 50×50mm 監(jiān)控膜厚顯示范圍 0～99μm
    2.1主真空室立式圓筒型真空室，雙層水冷
    2.2真空系統(tǒng)配置分子泵，機械泵，高真空手動插板閥

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