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    包郵 關(guān)注:652

    分子束外延系統(tǒng) (MBE system) 高德

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-熱蒸發(fā)

    產(chǎn)品品牌

    高德

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-北京市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：高德

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-熱蒸發(fā)

    分子束外延系統(tǒng) (MBE system)

     

    工作原理：

    通過不同的能量源提供高能量給靶材（如蒸鍍源，RF等離子源，電子束蒸發(fā)源，臭氧傳送系統(tǒng)等）。靶材會被加熱和蒸發(fā)。被蒸發(fā)的材料會沈積在襯地上形成薄膜。由于 MBE在超高真空（UHV）（10-9 torr）進(jìn)行，沉積速率可以放慢，使得薄膜可外延生長。

     

     

    特點(diǎn)：

    • 多種沉積源和測量工具的選擇
    • 多個(gè)沉積源
    • 超高真空環(huán)境（-10torr基準(zhǔn)壓力）
    • 6個(gè)可旋轉(zhuǎn)的 PLD靶
    • 全計(jì)算機(jī)控制與數(shù)據(jù)記錄
    • 先進(jìn)的原位樣品溫度和膜厚監(jiān)控
    • 定制的組合泵

     

     

    應(yīng)用范圍：

    • III - V、II - VI、II -氧化物、III ??- 氮化物，硅、鍺、金屬、電介質(zhì)及其它材料
    • 半導(dǎo)體
    • 光電子學(xué)
    • 光伏
    • 磁應(yīng)用

     

     

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