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分子束外延系統(tǒng) (MBE system)
工作原理:
通過不同的能量源提供高能量給靶材(如蒸鍍源,RF等離子源,電子束蒸發(fā)源,臭氧傳送系統(tǒng)等)。靶材會被加熱和蒸發(fā)。被蒸發(fā)的材料會沈積在襯地上形成薄膜。由于 MBE在超高真空(UHV)(10-9 torr)進(jìn)行,沉積速率可以放慢,使得薄膜可外延生長。
特點(diǎn):
應(yīng)用范圍:
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