美國(guó) Royce MP300 全自動(dòng)晶粒分揀機(jī)/挑粒機(jī)

Royce MP300 全自動(dòng)晶粒分揀機(jī)/挑粒機(jī)

系統(tǒng)特征：

• 高度靈活性,低成本,全自動(dòng)拾片和放片.
• 低成本的全自動(dòng)晶粒分揀機(jī),從圓片上分揀晶粒到晶粒盒或是薄膜框架上
• 可識(shí)別多種晶圓圖像模式，根據(jù)圓片圖象文件自動(dòng)分揀晶粒，包括比薩掩膜或是混合型圓片
• 可拾取厚度50µm 的有橋接和通孔的砷化鎵晶粒
• 用DieSortManager晶粒分揀管理軟件和可擴(kuò)展的圓片圖像庫(kù)，MP300的設(shè)置非常簡(jiǎn)單
• 能快速轉(zhuǎn)換適合不同晶粒尺寸和可預(yù)設(shè)置輸出載體的變化
• 靈活的供料平臺(tái)適合3英寸至12英寸（300mm）在圓環(huán)或框架上的圓片.
• 挑粒的高度，速度都可以設(shè)置，吸頭可以選擇真空吸頭或是非表面接觸雙夾頭
• 輸出載體可以快速轉(zhuǎn)換，如晶粒盒或是薄膜框架上
• 圓片上晶粒的位置到晶粒盒里的位置的可追蹤性

該系統(tǒng)的特別之處是可以支持從單個(gè)圓片上包括有多種類型晶粒的挑粒工序，自動(dòng)從圓片（包括匹薩掩膜）上挑粒并將晶粒放到各種載體中, 比如晶粒盒或GelPak.

MP300系統(tǒng)具有高度靈活性,易于設(shè)置. 該系統(tǒng)很適合種類繁多,中等量產(chǎn)或樣板生產(chǎn).圓片料臺(tái)適合3英寸( 150毫米)到12英寸( 300毫米 )的圓片，能快速轉(zhuǎn)換適合不同晶粒尺寸和輸出載體的變化，消除不必要的待工時(shí)間.

MP300自動(dòng)晶粒分撿（挑粒）機(jī)具有處理超薄易碎晶粒的超級(jí)能力，這種超級(jí)能力緣于Royce公司特別設(shè)計(jì)的晶粒頂出機(jī)構(gòu)。同時(shí)Royce公司享有專利的非表面接觸（NSC）雙夾頭可以將2 mil 厚的砷化鎵晶粒完好分揀出來(lái)，系統(tǒng)的非表面接觸雙夾頭或真空吸嘴按照設(shè)定的吸取高度和速度拾取晶粒.

如果客戶是在尋找分揀中高產(chǎn)量的混合圓片( 2000 uph ),尤其是超薄易碎晶粒或是比薩掩膜型圓片, Royce mp300自動(dòng)晶粒分撿（挑粒）機(jī)完全滿足客戶的所有需求.

MP300還包括全封閉式的防護(hù)罩以及一個(gè)安裝在側(cè)面的監(jiān)控器和鍵盤，它能使操作員坐或站著時(shí)調(diào)整流程或啟動(dòng)流程運(yùn)作

多種工藝選件

NSC非表面接觸式選件

NSC選件可用于吸取外形脆弱的MEMs晶粒和有橋接帶感光涂層的砷化鎵晶粒，晶粒先從晶圓上頂起, 然后夾頭邊緣以很小的力拾取晶粒。

可快速轉(zhuǎn)換的晶粒輸出裝置

各種用于固定輸出裝置的銷釘，可以用來(lái)固定各種晶粒盒, 膠裝盒和薄膜框。 用于固定非標(biāo)準(zhǔn)輸出載體的異形夾具臺(tái)也可以根據(jù)客戶要求提供。

晶粒吸頭和頂針

各種標(biāo)準(zhǔn)或定制的晶粒吸頭和頂針可供客戶選擇, 以便更好地滿足客戶的應(yīng)用。 通?？商幚沓叽绱笥?50微米見方, 厚度大于50µm的晶粒. 還提供一種帶有直徑低于5密耳的真空小孔的碳化鎢尖端工具，加上其階段運(yùn)作控制，可以處理小至8平方密耳的晶粒。

靈活的晶粒分揀軟件

直觀的用戶界面可實(shí)現(xiàn)下列操作：

• 靈活地將晶粒裝入不同載體
• 晶圓圖像格式包括SEMI E142 Electroglas 40x0 KLA，August和其它常規(guī)格式。
• 處理混合圓片上尺寸不同的晶粒
• 晶粒分揀軟件在WindowsXP系統(tǒng)下運(yùn)行，菜單文件管理和備份文件完全網(wǎng)絡(luò)化。
• 部分已挑粒的圓片圖像將生成日志文件，該文檔包括每個(gè)已放置晶粒的數(shù)據(jù)；包括原來(lái)在晶圓上的位置和實(shí)際放置的晶粒室的號(hào)碼。最終將每粒晶粒在晶粒盒上的位置定位。工程師便能看到晶粒盒上晶粒來(lái)自晶圓上何處的儲(chǔ)存記錄，這樣能夠?qū)崿F(xiàn)更快的工藝糾正和產(chǎn)能改善。

多尺寸晶粒圓片挑粒的簡(jiǎn)化

• 分揀機(jī)能夠輕而易舉從多尺寸晶粒圓片（也稱為匹薩掩膜圓片）上分揀晶粒。
• 這樣的圓片通常量很少或是只有一個(gè)圓片，但是包括多種晶粒，尺寸和外形各異，為不同客戶設(shè)計(jì)的晶粒同時(shí)包括在一塊圓片上，從圓片上晶粒的位置到晶粒盒里的位置都需要精確地可追蹤性。MP300可以將晶粒分類分揀到16個(gè)不同的晶粒盒中，有256種分揀種類。