服務(wù)熱線(xiàn)
4001027270
● 機(jī)械特性
★ 12″機(jī)臺(tái)往下可兼容8″晶圓,8″機(jī)臺(tái)往下可兼容6″晶圓;
★ 各種規(guī)格芯片(0.3-25mm)挑選的首選產(chǎn)品,支持長(zhǎng)條型芯片;
★ 可據(jù)MAPPING圖挑選,與測(cè)試機(jī)無(wú)縫對(duì)接,省去打點(diǎn)工序,提高企業(yè)生產(chǎn)效率及減低企業(yè)生產(chǎn)成本;
★ 可挑選打點(diǎn)芯片,亦可自行確定AB區(qū)挑選;
★ 操作簡(jiǎn)易且運(yùn)行穩(wěn)定可靠的軟件系統(tǒng);
★ 采用真空漏晶檢測(cè);
★ 自動(dòng)擴(kuò)晶系統(tǒng);
★ 采用全機(jī)械真空吸取式挑選,電磁吹氣置放,芯片零損傷.
● 圖像識(shí)別處理系統(tǒng)
★ 采用精密高清晰度CCD數(shù)字?jǐn)z像機(jī),及高清晰度同軸光可調(diào)倍數(shù)鏡頭;
★ 高速成像、高清晰度圖像為圖像采集提供了有效保障;
★ 簡(jiǎn)易操作、可程式搜尋晶片范圍、形狀及晶片間距、可程式確定料盒范圍、形狀及間隔;
★ 可程式器件參數(shù)設(shè)置、PR定位、提供快速器件轉(zhuǎn)換;
★ 微米級(jí)精密吸晶嘴及頂針系統(tǒng)設(shè)計(jì)確保了吸晶準(zhǔn)確性及可靠性;
★ 17”寬屏彩色液晶顯示器為圖像識(shí)別預(yù)覽及界面操作提供了更為有效的保障;
★ 圖像識(shí)別精度0.025mil@50mil測(cè)量范圍;
★ 采用同軸光源,側(cè)光源匹配設(shè)計(jì)方案,為反光度不同的晶片取放提供了可靠的保障.
● 自動(dòng)擴(kuò)晶系統(tǒng)
★ 全自動(dòng)擴(kuò)晶,省人工擴(kuò)晶時(shí)間及設(shè)備需求,減少企業(yè)生產(chǎn)成本提高生產(chǎn)效率;
★ 采用熱風(fēng)槍機(jī)構(gòu),使擴(kuò)片更快更簡(jiǎn)易.
● 雙工作臺(tái)系統(tǒng)
★ X、Y均采用伺服電機(jī),雙層直線(xiàn)導(dǎo)軌工作臺(tái)和滾珠絲桿結(jié)構(gòu);
★ 獨(dú)有的雙工作臺(tái)料盒無(wú)縫連接工作系統(tǒng),以承載更多料盒,大提高生產(chǎn)效率;
★ 可調(diào)式滑塊及精密連軸器的設(shè)計(jì)方案,保設(shè)備運(yùn)行精度及長(zhǎng)期穩(wěn)定性;
★ 采用可程式數(shù)字設(shè)置,使PR定位更精確;
● 擺臂系統(tǒng)
★ 簡(jiǎn)捷設(shè)計(jì),大大降低了整體系統(tǒng)的故障率,減少運(yùn)行時(shí)維護(hù).
● 操作系統(tǒng)
★ 自主研發(fā)且具有知識(shí)產(chǎn)權(quán)的操作系統(tǒng);
★ 時(shí)刻升級(jí),根據(jù)客戶(hù)特殊要求定制以滿(mǎn)足需求.
挑選機(jī)系列規(guī)格參數(shù)
系統(tǒng)功能
生產(chǎn)周期 400~600ms/顆 (視芯片與擴(kuò)晶膜而定)
晶片尺寸 12mil×12mil—400mil×1200mil (0.3mm×0.3mm—10mm×30mm)
適用淬盤(pán)尺寸 2″、3″、4″(可定制JEDEC TRAY)
芯片XY工作臺(tái)
LD810 芯片尺寸 8″可兼容6″(150mm)外徑
LD812&LD816芯片尺寸 12″可兼容8″(200mm)外徑
LD810最大行程 8″×8″(240×240mm)
LD812&LD816最大行程 12″×12″(340×340mm)
分辯率 0.02mil(0.5μm)
重復(fù)率 ±0.02mil(±0.5μm)
頂針Z高度行程 51mil(1.3mm)
圖像識(shí)別系統(tǒng)(晶片與淬盤(pán))
圖像識(shí)別 256級(jí)灰度
分辯率 640×480像素
圖像識(shí)別精度 0.025mil@50mil規(guī)測(cè)范圍
淬盤(pán)系統(tǒng)精準(zhǔn)度
XY ±1mil(±0.025mm)
偏轉(zhuǎn)角度(θ) ±0.5°
吸晶擺臂
擺臂旋轉(zhuǎn) 180°
吸晶壓力 40-250g可調(diào)
所需條件
電壓AC-220V/50Hz
壓縮空氣 0.5~0.6Mpa
真空負(fù)壓 ≤80Kpa
功率消耗 1500W
體積及重量
LD810 長(zhǎng)*寬*高 1400x1100x1800mm 重量 1000 kg
LD812 長(zhǎng)*寬*高 1500x1200x1800mm 重量 1000 kg
LD816 長(zhǎng)*寬*高 1600x1400x1800mm 重量 1100 kg
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