包郵
關(guān)注:435
腐蝕工作臺(tái) 適用于4英寸以下半導(dǎo)體硅片氧化前的清洗工藝
產(chǎn)品品牌
天海利華
庫 存:
100
產(chǎn) 地:
中國-北京市
腐蝕工作臺(tái) 適用于4英寸以下半導(dǎo)體硅片氧化前的清洗工藝
腐蝕工作臺(tái)
1.本設(shè)備是3槽腐蝕工作臺(tái),適用于4英寸以下半導(dǎo)體硅片氧化前的清洗工藝。本設(shè)備采用RCA部分清洗工藝,采用國際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工,在超凈廠房組裝測試,有可靠的質(zhì)量保障
2. 整機(jī)由機(jī)臺(tái)、操作臺(tái)面、清洗槽體、藥液槽體、藥液溫度控制系統(tǒng),排風(fēng)、電氣控制系統(tǒng)等組成。整機(jī)由PP板和PVC板焊接而成,美觀、耐腐蝕。
3.腐蝕水域槽為不銹鋼材料;腐蝕槽為石英材料(槽口部有法蘭),帶蓋;
4.加熱方式:不銹鋼內(nèi)加熱器,控溫范圍:室溫-70℃,精度±1℃;
5.清洗槽為NPP材料,配有鵝頸水龍頭。設(shè)有純水管路、自來水管路及手動(dòng)調(diào)節(jié)閥,下水自然放。
6.配置國際知名品牌噴淋槍一把、氮?dú)鈽屢话眩?
7.排風(fēng)通道:工作臺(tái)后部、上部同時(shí)排風(fēng);
8.配有有機(jī)玻璃翻門,塑料推拉門,儲(chǔ)物柜
咨詢