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    包郵 關(guān)注:314

    EB系列探針臺臺體 北京美亞先科技

    產(chǎn)品品牌

    北京美亞先

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-上海市

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:北京美亞先

    型號:

    所屬系列:半導體測試設(shè)備-電學性能測試-手動探針臺

    EB系列探針臺臺體 北京美亞先科技
    總體規(guī)格特點:

       重量:60kg(含顯微鏡)。
       尺寸:580mm寬*460mm長*700mm高(含顯微鏡)。
       優(yōu)化的人體工學設(shè)計,便于工程師長時間舒適操作。
     
    顯微鏡操控規(guī)格:
       顯微鏡后側(cè)有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪,可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動,移動范圍2"X2",精度1μm。
       顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細旋鈕,粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細旋鈕方便精確調(diào)焦,使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動精度10μm。
     
    臺面規(guī)格:
       探針臺臺面平整度:5μm。
       探針臺臺面為固定臺面。
     
    卡盤(載物臺,即圖中的chuck)規(guī)格:
       6" 卡盤,卡盤平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,帶真空吸附孔,中心孔徑 250μm-1mm(可根據(jù)客戶需求定制孔徑大?。钚】梢晕〕叽鐬?.3mmX0.3mm,最大能夠吸住尺寸為6"X6"。
       卡盤可360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,帶角度鎖定旋鈕。
       卡盤座有小搖桿,提起90度后,可以使卡盤快速線性上升4mm,在做wafer點測時方便快速移動點測位置,同時做普通die或者decap后芯片點測時,方便快速更換樣品。
       卡盤X,Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動,移動范圍為6"X6",移動精度為10μm,為方便點測的穩(wěn)定性,帶有鎖住功能如果點測6"wafer的時候,可以保證6"wafer的每一點都能夠點測到。
     
    性能:
    • 真空吸附卡盤:對應可選4" ,6",8",12"產(chǎn)品
    • 卡盤X-Y方向精確線性移動行程:6"-6"
    • 線性無回差調(diào)節(jié)
    • 卡盤上/下移動行程:4mm
    • 4", 6", 8", 12" 晶圓 (晶圓尺寸)
    • 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"
    • 卡盤平整度: 10um
    • 卡盤旋轉(zhuǎn)角度:0~360°
    附件:
    • 顯微鏡傾仰裝置
    • 鍍金卡盤
    • 射頻測試探頭/電纜
    • 有源探頭
    • 低電流/電容測試
    • 高壓測試
    • 激光修復
    • CCD/數(shù)字相機,USB接口
    • 探針卡/封裝/PCB板夾具
    • 加熱裝置
    • 防震桌
    • 屏蔽箱
    • 顯微鏡暗場/Normarski 檢測

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