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    多弧離子鍍輔助沉積MT3-PA 離子復合鍍膜設備 博銳恒電子

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-其他設備類-其他

    產(chǎn)品品牌

    博銳恒電子

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:博銳恒電子

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-其他設備類-其他

    多弧離子鍍輔助沉積MT3-PA 離子復合鍍膜設備 博銳恒電子

     

    多弧離子鍍輔助沉積優(yōu)點:

    1、從陰極直接產(chǎn)生等離子體,不用熔池,陰極靶可根據(jù)工件形狀在任意方向布置,使夾具大為簡化。

    2、入射粒子能量高,膜的致密度高,強度和耐久性好,附著強度好。

    3、離化率高,一般可達60%~80%

    4、從應用的角度講,其突出優(yōu)點是蒸鍍速率快。

    我公司研發(fā)的離子復合鍍膜設備具備:

    1、先進的離子注入技術;

    2、電弧離子鍍技術和工藝;

    3、低溫條件下實現(xiàn)膜層與基體的良好結合;

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