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    CSE-單片清洗機(jī)

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國(guó)

    數(shù)       量：

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    價(jià)       格：

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    CSE-單片清洗機(jī)

    設(shè) 備 名 稱

    CSE-單片清洗機(jī)

    類  型

    單片式

    適 用 領(lǐng) 域

    半導(dǎo)體、太陽能、液晶、MEMS等

    清 洗 方 式

    2英寸——12英寸

    設(shè)備穩(wěn)定性

    1、≥0.2um顆粒少于10顆

    2、金屬附著量:<3E10 atoms/ cm²

    3、純水消耗量：1L/min/片

    4、蝕刻均一性良好（SiO?氧化膜被稀釋HF處理）：≤2%

    5、干燥時(shí)間：≤20S

    6、藥液回收率：＞95%

    單片式優(yōu)點(diǎn)

    1、單片處理時(shí)間短（相較于槽式清洗機(jī)）

    2、節(jié)約成本（藥液循環(huán)利用，消耗量遠(yuǎn)低于槽式）

    3、良品率高

    4、有效避免邊緣再附著

    5、立體層疊式結(jié)構(gòu)，占地面積小

     


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