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概要

氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）利用溫差量熱法原理，可對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。用這種方法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力影響。本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標準SJ/T10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術條件和命名方法。 MFC出廠通常用氮氣（N2）標定。質(zhì)量流量的單位規(guī)定為：SCCM (標準毫升/分)，SLM (標準升/分) 標準狀態(tài)規(guī)定為：溫度---273.15 K（0℃），氣壓—-101325 Pa（760mm Hg） F.S.（Full Scale）：滿量程值

產(chǎn)品特點

本產(chǎn)品具有穩(wěn)定可靠、響應時間短、標定精度和重復精度高等優(yōu)點，安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數(shù)字信號轉換器（AD/DA轉換器）配合計算機使用。

流量規(guī)格(N2標定)

0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0～1,2,3,5,10,20,30 SLM

注：滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格，可以在5SCCM～30SLM范圍內(nèi)任選，例如123SCCM。

輸入輸出信號

0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)

應用行業(yè)

化學工業(yè)、石化工業(yè)、LNG工業(yè)、半導體材料和微電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、特種材料研究、環(huán)保和真空行業(yè)等。使用本產(chǎn)品的設備主要有：真空鍍膜設備、混氣配氣設備、光纖熔煉設備、晶體制備設備、微電子設備、微反應裝置、氣相色譜儀及其它分析儀器等。

質(zhì)保與服務

我公司承諾對產(chǎn)品的質(zhì)保期為叁年。在您收貨后叁年以內(nèi)，如果按照說明書要求使用，遵守安全注意事項，并且產(chǎn)品沒有被損毀、改裝或翻新，若有任何故障和問題，我公司負責免費維修或更換新品。在保修期外，我們提供終身維修和維護服務，但適當收取維修和維護的成本費。維修和維護后，維修部分的質(zhì)保期為壹年。我公司有專業(yè)的售后工程師可以幫助您解決關于安裝和使用等各方面的問題，并且提供產(chǎn)品的使用培訓。

規(guī)格參數(shù)

型號	SQC-100
流量量程(N2)	0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM
流量量程(N2)	0~1,2,3,5,10,15,20,30SLM
精度	±1%F.S.(≤15SLM);±2%F.S.(>15SLM)
控制閥動作型式	常閉式
線性	±1%F.S.(≤15SLM);±2%F.S.(>15SLM)
重復精度	±0.2%F.S.
響應時間	≤1sec
輸入輸出信號	0~5V
電氣接頭	DB15 pin(針形)
工作環(huán)境溫度	5~45℃
工作壓差	0.05~0.5MPa(MFC);0.03~3.0MPa(MFM)
漏率	1*10-8SCCS(He)
最大耐壓	3MPa
介質(zhì)接觸材質(zhì)	316不銹鋼和密封材料
密封材料	氟橡膠,硅橡膠,丁腈橡膠,聚四氟乙烯,金屬密封
接頭尺寸	VCR 1/4";Swagelok 1/8";1/4";φ3,φ6mm
電源要求	+15V,50mA;-15V,200mA

熱式氣體質(zhì)量流量控制器

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