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當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體器件 » MFC »ALICAT抗腐蝕型氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器
    包郵 關(guān)注:480

    ALICAT抗腐蝕型氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體器件-MFC

    庫       存:

    999

    產(chǎn)       地:

    美國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體器件-MFC

     ::產(chǎn)品描述::

     

    美國(guó)ALICAT 21S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差專利技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的21S系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測(cè)量并控制腐蝕性氣體(如NH3、H2S、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度,適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合。

    產(chǎn)品特點(diǎn) 

    ● 數(shù)字化產(chǎn)品
    ● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
    ● 多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
    ● 可選高精度:優(yōu)于0.5%
    ● 高量程比 100:1
    ● 響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms(可調(diào))
    ● 內(nèi)置130種常規(guī)以及腐蝕性氣體(如介質(zhì)是氯氣CL2 或 二氧化硫SO2,訂貨時(shí),需特殊說明)
    ● 可現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定混合氣體,并存儲(chǔ)20種混合氣
    ● 可適用于諸多腐蝕性氣體

    技術(shù)參數(shù) 

    介質(zhì)要求:潔凈、干燥的氣體,腐蝕和非腐蝕性均可

    介質(zhì)種類:內(nèi)置了130種氣體,請(qǐng)咨詢

    一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場(chǎng)選擇

    量程:從0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM(詳情請(qǐng)咨詢)

    量程比:100:1

    最大顯示流量:102.4%FS

    顯示屏:同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

    精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-讀數(shù) FS-滿量程

    高精度:±(0.4%Rd + 0.2%FS),選配

    僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設(shè)備

    重復(fù)性:± 0.2% FS

    零點(diǎn)漂移&滿量程漂移:0.02% F.S / ºC / Atm

    預(yù)熱時(shí)間:<1s

    響應(yīng)時(shí)間:100ms

    標(biāo)定工況:25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現(xiàn)場(chǎng)可切換)

    工作溫度:-10 ~ +50 ºC

    工作濕度:0-100%,無冷凝

    標(biāo)準(zhǔn)最大工作壓力:1MPa 表壓

    標(biāo)準(zhǔn)極限耐壓:1.2MPa 表壓

    中壓選項(xiàng):2MPa

    數(shù)字輸入/輸出信號(hào):RS232、RS485、Modbus、Profibus*

    模擬輸入/輸出信號(hào):0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA

    供電電壓:7-30 Vdc (如選4-20 mA輸出,須為15-30 Vdc)

    供電電流:250mA ~ 750mA

    電氣接口:8針Mini-DIN、DB9、DB15、6針工業(yè)接頭

    材質(zhì):316L不銹鋼、303不銹鋼, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

    可根據(jù)特殊氣體選用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

    防護(hù)等級(jí):IP40

    * 如選Profibus,則無模擬信號(hào),無顯示,其供電電壓及

    供電電流需咨詢我們

    應(yīng)用及案例 

    ● 大學(xué)/研究所
    ● 環(huán)境監(jiān)測(cè)
    ● 真空行業(yè)及鍍膜
    ● 工業(yè)爐窯
    ● 汽車制造
    ● 計(jì)量
    ● 過程工藝氣體測(cè)量

     

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