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本系統(tǒng)是集成keithley 2400/2600系列高精度源表和semishare Polaris 高低溫平臺采用范德堡法則設(shè)計的應(yīng)用于高精度的測量半導(dǎo)體材料的載流子類型（P型/N型），載流子濃度，遷移率，電阻率，霍爾系數(shù)等參數(shù)。能夠適用于 Si,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP,GaN等半導(dǎo)體材料。
特點:
keithley測試平臺
功能豐富的軟件
超高精度的源表
可視化的界面
模塊化的設(shè)計
常溫/高低溫變溫環(huán)境
一、產(chǎn)品特性：
（1）可靠的精度及重現(xiàn)性
keithley 2600/2400系列高精度源表(600pA~200mA)采用七級電流范圍設(shè)置，將可以接收的誤差降到最低，測試輸出精度最高可達600pA；范德堡爾法則轉(zhuǎn)換使用非接觸裝置有效降低儀器噪聲，消除樣品的能斯特效應(yīng)，愛廷豪森效應(yīng)和里紀(jì)-勒杜克效應(yīng)。能快速的建立掃描，縮短測試時間， 有效的減少熱磁效應(yīng)。軟硬件有針對性的設(shè)計，確保每個實驗數(shù)據(jù)均為多次測試的平均值，使儀器擁有非常好的數(shù)據(jù)重現(xiàn)性。
吉時利2700/KEITHLEY2700系列數(shù)據(jù)采集/多路綜合測試系統(tǒng)(KEITHLEY2700，2701和2750)將精密測量、程控開關(guān)和控制功能集成在一個緊湊的機箱內(nèi)，可用于機架裝配或測試臺類的應(yīng)用。這些高性價比、高性能的測試平臺可替代分立的數(shù)字多用表、開關(guān)系統(tǒng)、數(shù)據(jù)記錄儀/記錄器、插卡式數(shù)據(jù)采集設(shè)備和VXI/PXI系統(tǒng)。
吉時利2700系列數(shù)據(jù)采集/多路綜合測試系統(tǒng)的開關(guān)/控制模塊為廣泛的工業(yè)應(yīng)用提供了出眾的靈活性和測試效率。吉時利2700和吉時利2750無可比擬的優(yōu)良特性，也為系統(tǒng)集成商提供了多通道、造價低廉的高性能自動測試系統(tǒng)方案。
插入式的模塊具有靈活方便的特點，支持20～200個通道（雙刀開關(guān)），可給待測器件提供激勵源，切換信號通道，控制系統(tǒng)組件，而且能夠?qū)崿F(xiàn)多達14種功能的精密測量工作?？煽康臄?shù)字I/O功能可以實現(xiàn)與其他自動化設(shè)備之間的觸發(fā)與互連，以及超限報警輸出功能。高達500通道/秒的掃描速率（單通道可達3500次讀數(shù)/秒）大大提高了測試產(chǎn)能。
（2） 產(chǎn)品小型化及操作簡單化 小尺寸的磁場強度輸入系統(tǒng)使用永磁體和常溫平臺，可選配 semishare Polaris高低溫平臺（RT-100 攝氏度和 77K)，同時，確保儀器操作非常簡單；兩種不同尺寸的傳統(tǒng)樣品板(20*20mm、6*6mm)及帶彈簧夾片的樣品板(SPCB)，使得不同尺寸不同材料的薄膜樣品更容易測量，區(qū)別于傳統(tǒng)樣品板的彈簧夾片樣品板使得霍爾電極制作更方便且對樣品損傷更小。
（3） I-V 曲線及I-R 曲線測量 采用圖表的方式，測量探針?biāo)狞c(A、B、C、D)間電流-電壓及電流-電阻關(guān)系，并以此評判樣品的歐姆接觸好壞、了解樣品的基本的電學(xué)特性。
（4）多樣的實驗結(jié)果 實驗結(jié)果由軟件自動計算得到，可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)、電阻的縱 橫比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等等。
二、系統(tǒng)局部圖片
（1）微型高低溫探針臺部分
（2） 運動控制系統(tǒng)
序號 名稱 數(shù)量 功能
1 Y軸電機 1 控制磁鐵前進/后退的動力部分
2 永磁鐵組件 1 提供測試磁場
3 Y軸同步輪 1 磁鐵前進/后退的傳動部分
4 旋轉(zhuǎn)軸齒輪 1 磁鐵旋轉(zhuǎn)的傳動部分
5 旋轉(zhuǎn)軸電機 1 磁鐵旋轉(zhuǎn)的動力部分
6 旋轉(zhuǎn)硬限位 2 磁鐵旋轉(zhuǎn)軸的左右硬限位
7 Y軸硬限位 2 磁鐵前進/后退的硬限位
（3）軟件界面
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