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本系統(tǒng)是集成keithley 2400/2600系列高精度源表和semishare Polaris 高低溫平臺(tái)采用范德堡法則設(shè)計(jì)的應(yīng)用于高精度的測(cè)量半導(dǎo)體材料的載流子類型（P型/N型），載流子濃度，遷移率，電阻率，霍爾系數(shù)等參數(shù)。能夠適用于 Si,SiGe,SiC,GaAs,InGaAs,InP,GaN等半導(dǎo)體材料。
特點(diǎn):
keithley測(cè)試平臺(tái)
功能豐富的軟件
超高精度的源表
可視化的界面
模塊化的設(shè)計(jì)
常溫/高低溫變溫環(huán)境
一、產(chǎn)品特性：
（1）可靠的精度及重現(xiàn)性
keithley 2600/2400系列高精度源表(600pA~200mA)采用七級(jí)電流范圍設(shè)置，將可以接收的誤差降到最低，測(cè)試輸出精度最高可達(dá)600pA；范德堡爾法則轉(zhuǎn)換使用非接觸裝置有效降低儀器噪聲，消除樣品的能斯特效應(yīng)，愛(ài)廷豪森效應(yīng)和里紀(jì)-勒杜克效應(yīng)。能快速的建立掃描，縮短測(cè)試時(shí)間， 有效的減少熱磁效應(yīng)。軟硬件有針對(duì)性的設(shè)計(jì)，確保每個(gè)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)均為多次測(cè)試的平均值，使儀器擁有非常好的數(shù)據(jù)重現(xiàn)性。
吉時(shí)利2700/KEITHLEY2700系列數(shù)據(jù)采集/多路綜合測(cè)試系統(tǒng)(KEITHLEY2700，2701和2750)將精密測(cè)量、程控開(kāi)關(guān)和控制功能集成在一個(gè)緊湊的機(jī)箱內(nèi)，可用于機(jī)架裝配或測(cè)試臺(tái)類的應(yīng)用。這些高性價(jià)比、高性能的測(cè)試平臺(tái)可替代分立的數(shù)字多用表、開(kāi)關(guān)系統(tǒng)、數(shù)據(jù)記錄儀/記錄器、插卡式數(shù)據(jù)采集設(shè)備和VXI/PXI系統(tǒng)。
吉時(shí)利2700系列數(shù)據(jù)采集/多路綜合測(cè)試系統(tǒng)的開(kāi)關(guān)/控制模塊為廣泛的工業(yè)應(yīng)用提供了出眾的靈活性和測(cè)試效率。吉時(shí)利2700和吉時(shí)利2750無(wú)可比擬的優(yōu)良特性，也為系統(tǒng)集成商提供了多通道、造價(jià)低廉的高性能自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)方案。
插入式的模塊具有靈活方便的特點(diǎn)，支持20～200個(gè)通道（雙刀開(kāi)關(guān)），可給待測(cè)器件提供激勵(lì)源，切換信號(hào)通道，控制系統(tǒng)組件，而且能夠?qū)崿F(xiàn)多達(dá)14種功能的精密測(cè)量工作?？煽康臄?shù)字I/O功能可以實(shí)現(xiàn)與其他自動(dòng)化設(shè)備之間的觸發(fā)與互連，以及超限報(bào)警輸出功能。高達(dá)500通道/秒的掃描速率（單通道可達(dá)3500次讀數(shù)/秒）大大提高了測(cè)試產(chǎn)能。
（2） 產(chǎn)品小型化及操作簡(jiǎn)單化 小尺寸的磁場(chǎng)強(qiáng)度輸入系統(tǒng)使用永磁體和常溫平臺(tái)，可選配 semishare Polaris高低溫平臺(tái)（RT-100 攝氏度和 77K)，同時(shí)，確保儀器操作非常簡(jiǎn)單；兩種不同尺寸的傳統(tǒng)樣品板(20*20mm、6*6mm)及帶彈簧夾片的樣品板(SPCB)，使得不同尺寸不同材料的薄膜樣品更容易測(cè)量，區(qū)別于傳統(tǒng)樣品板的彈簧夾片樣品板使得霍爾電極制作更方便且對(duì)樣品損傷更小。
（3） I-V 曲線及I-R 曲線測(cè)量 采用圖表的方式，測(cè)量探針?biāo)狞c(diǎn)(A、B、C、D)間電流-電壓及電流-電阻關(guān)系，并以此評(píng)判樣品的歐姆接觸好壞、了解樣品的基本的電學(xué)特性。
（4）多樣的實(shí)驗(yàn)結(jié)果 實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動(dòng)計(jì)算得到，可同時(shí)得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)、電阻的縱 橫比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等等。
二、系統(tǒng)局部圖片
（1）微型高低溫探針臺(tái)部分
（2） 運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)
序號(hào) 名稱 數(shù)量 功能
1 Y軸電機(jī) 1 控制磁鐵前進(jìn)/后退的動(dòng)力部分
2 永磁鐵組件 1 提供測(cè)試磁場(chǎng)
3 Y軸同步輪 1 磁鐵前進(jìn)/后退的傳動(dòng)部分
4 旋轉(zhuǎn)軸齒輪 1 磁鐵旋轉(zhuǎn)的傳動(dòng)部分
5 旋轉(zhuǎn)軸電機(jī) 1 磁鐵旋轉(zhuǎn)的動(dòng)力部分
6 旋轉(zhuǎn)硬限位 2 磁鐵旋轉(zhuǎn)軸的左右硬限位
7 Y軸硬限位 2 磁鐵前進(jìn)/后退的硬限位
（3）軟件界面
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