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    包郵 關(guān)注:744

    高精密數(shù)控晶體滾圓磨床

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-磨削機

    產(chǎn)品品牌

    豪特曼

    規(guī)格型號:

    FX27P-60CNC

    發(fā)貨期限:

    30天天

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國

    數(shù)       量:

    減少 增加
    起       批 1-5臺 6臺以上
    價       格 999.00 888.00
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    品牌:豪特曼

    型號:FX27P-60CNC

    所屬系列:半導體加工設備-晶圓減薄拋光設備-磨削機

     一、設備描述:

    1、 本體

    本體及構(gòu)件采用米漢納高級鑄鐵FC30鑄成,經(jīng)人工正常化熱處理,再經(jīng)過自然時效處理。構(gòu)件加工采用YASDA,MITSUI SEIKI,TOSHIBA ,ELB等世界優(yōu)秀設備一次裝夾加工。精密尺寸可達微米級,確保設備基礎構(gòu)件高精度。

    2、 自動潤滑系統(tǒng)

    機床導軌及精密滾珠絲桿持續(xù)不斷地受到自動潤滑系統(tǒng)的供油潤滑,確保更長使用壽命,及長期保持最佳精度。冷卻系統(tǒng)與機體分開,消除振動并且有利散熱。

    3、 自動化系統(tǒng)

    配置西門子828D數(shù)控自動化研磨系統(tǒng),并進行二次開發(fā),實現(xiàn)人機對話傻瓜式操作,備有眾多選購配備可供選擇,包括內(nèi)孔研磨裝置、自動端面測量裝置、自動外徑測量裝置等。

    數(shù)控外圓磨床系統(tǒng)操作界面

    4、 砂輪頭進給軸

    研磨進給系統(tǒng)是由手工精密鏟花的一V一平軌道搭配自動潤滑系統(tǒng)、C3級精密研磨滾珠絲桿組成,能獲平順運動、優(yōu)異的重復定位精度及較長的軌道壽命。

    軌道手工鏟花

    5、 砂輪主軸

    砂輪主軸標準配置為后四后二軸承式結(jié)構(gòu)。也可以選配高精密動靜壓主軸,具有回轉(zhuǎn)精度高,動態(tài)剛度高,抗振性好,磨削效率高,磨削表面質(zhì)量好的特點,針對特殊工件研磨,具有砂輪轉(zhuǎn)速可調(diào),最高可達3500轉(zhuǎn)/分,線速度最高可達65m/s。
    軸承式主軸

    6、 尾座

    尾座的設計不但具有剛性且堅固,包覆在鑄鐵本體內(nèi)經(jīng)硬化的合金鋼滑筒設計用來承載MT4頂心,滑筒的頂緊力很容易經(jīng)由后方的調(diào)整旋鈕進行改變。特殊附件油壓尾座附有踏板便于裝卸工件。

    7、 數(shù)控系統(tǒng)

    采用西門子數(shù)控系統(tǒng)為標準配置,操作簡單易用。并配以西門子高性能伺服電機,使設備數(shù)控系統(tǒng)和傳動系統(tǒng)有較好的兼容性,同時具備自動修砂和自動補償功能,保障了進刀和磨削的穩(wěn)定性和精度。

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