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當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體加工設(shè)備 » 其他設(shè)備類 »豪特曼高精密光學(xué)曲線磨床S614
    包郵 關(guān)注:390

    豪特曼高精密光學(xué)曲線磨床S614

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-其他設(shè)備類

    產(chǎn)品品牌

    豪特曼

    規(guī)格型號:

    1750*1800*2000

    發(fā)貨期限:

    60天天

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    999.00
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    品牌:豪特曼

    型號:1750*1800*2000

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-其他設(shè)備類

     

    一、        設(shè)備名稱、型號、技術(shù)規(guī)格

    1、 設(shè)備名稱:高精密光學(xué)曲線磨床

    S614曲線磨床圖片僅供參考

     

    2、 設(shè)備型號:S614

    3、 技術(shù)規(guī)格:

    編號

     目

    單位

    機型:S614

    1

    磁臺尺寸

    mm

    150*400

    2

    工作臺面尺寸

    mm

    230*600

    3

    工作臺移動尺寸(前后*左右)

    mm

    180*520

    4

    左右

    移動

    Y軸)

    最大行程

    mm

    520

    5

    最大移動速度

    Mm/min

    30000

    6

    直線電機

    N

    MAX.1600

    7

    分辨率

    mm

    0.0001

    8

    前后

    移動

    X軸)

    最大行程

    mm

    180

    9

    最大速度

    Mm/min

    12000

    10

    伺服電機功率

    KW

    1.8

    11

    分辨率

    mm

    0.0001

    12

     

    上下

    移動

    Z軸)

    最大行程

    mm

    350

    13

    最大速度

    Mm/min

    12000

    14

    伺服電機功率

    KW

    1.5

    15

    分辨率

    mm

    0.0001

    16

    砂輪尺寸(外徑*厚度*內(nèi)徑)

    Deg

    100-205)*(13-19)*31.75mm

    17

    裝機總功率

    KW

    10

    18

    機械潤滑

     

    定時自動

    19

    外形尺寸(長*寬*高)

    mm

    1750*1800*2000

    20

    設(shè)備重量

    KG

    3500

     

    4、 機床精度:

    經(jīng)過豪特曼光學(xué)曲線平面研磨,需達到如下標(biāo)準(zhǔn)精度要求:(不同材質(zhì)工件選用不同砂輪)

    No.

    磨削方式

    工件

    平面度

    粗糙度

    1

    平面

    試樣件100*300mm

    ≤0.002mm

    ≤Ra0.2

       注:粗磨 (一般情況研磨量 0.03~0.06mm);精磨 (一般情況研磨量0.005~0.02mm)

    二、設(shè)備描述:

    1﹑本體

    本體及構(gòu)件采用米漢納高級鑄鐵FC30一次鑄成,經(jīng)人工正?;療崽幚?,再經(jīng)過六個月以上自然時效處理,構(gòu)件加工采用YASDA、MITSUI SEIKI、TOSHIBA 、ELB等世界一流設(shè)備一次裝夾加工,精密尺寸可達微米級,確保設(shè)備基礎(chǔ)構(gòu)件高精度。

    2﹑主軸系統(tǒng)

    主軸采用前四后二軸承式結(jié)構(gòu),均在恒溫?zé)o塵車間安裝,搭配P4級超精密角接觸滾珠軸承并作預(yù)壓處理,軸承與軸芯組合后,主軸跳動控制在0.001mm以內(nèi),具有溫升小、噪音低、振動小的特點。

    3﹑傳動系統(tǒng)

    左右移動Y軸采用直線電機結(jié)構(gòu),最大驅(qū)力可達1600N,配置進口高精密光柵尺,超高的定位精確度,最小進給可達0.0001mm。X軸和Z軸采用C1級滾珠絲桿,靜壓潤滑可降低摩擦與交互影響,并可增加剛性和定位精度。

    4﹑修砂裝置

    采用兩種不同的修砂刀,配合三軸聯(lián)動進行修砂,可輕松實現(xiàn)砂輪的端面及外輪廓的成型修整。

    5、設(shè)備詳細(xì)結(jié)構(gòu)圖

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