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    刻蝕設(shè)備 NRE-3500(A)全自動(dòng)反應(yīng)離子刻蝕機(jī) 那諾-馬斯特

    產(chǎn)品品牌

    那諾-馬斯特/Nano-Master

    庫       存:

    999

    產(chǎn)       地:

    美國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:那諾-馬斯特/Nano-Master

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-刻蝕設(shè)備-反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

     ?

    NRE-3500(A)全自動(dòng)反應(yīng)離子刻蝕機(jī)概述:獨(dú)立式RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個(gè)端口:一個(gè)帶有2"的視窗,另一個(gè)空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持至大到12"的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計(jì),并且根據(jù)配套的真空泵可以達(dá)到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個(gè)節(jié)流閥,一個(gè)250l/s的渦輪分子泵,濾網(wǎng)過濾器,以及一個(gè)10cfm的機(jī)械泵(帶Formblin泵油).RF射頻功率通過600W,13.56MHz的電源和自動(dòng)調(diào)諧器提供。系統(tǒng)將持續(xù)監(jiān)控直流自偏壓,該自偏壓可以高達(dá)-500V.這對于各向異性的刻蝕至關(guān)重要。

     

    NRE-3500(A)全自動(dòng)反應(yīng)離子刻蝕機(jī)是基于PC控制的全自動(dòng)系統(tǒng).系統(tǒng)真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實(shí)時(shí)顯示,流量及功率則以數(shù)字形式實(shí)時(shí)顯示.系統(tǒng)提供密碼保護(hù)的四級訪問功能:操作員級、工程師級、工藝人員級,以及維護(hù)人員級.允許半自動(dòng)模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式), 和全自動(dòng)執(zhí)行程序模式(操作模式)運(yùn)行系統(tǒng)?;谌詣?dòng)的控制,該系統(tǒng)具有高度的可重復(fù)性。

     

    產(chǎn)品特點(diǎn):

    • 鋁質(zhì)腔體或不銹鋼腔體

    • 不銹鋼立柜

    • 能夠刻蝕硅的化合物(~400? /min)以及金屬

    • 典型的硅刻蝕速率,400 ?/min

    • 高達(dá)12"的陽極氧化鋁RF樣品臺(tái)

    • 水冷及加熱的RF樣品臺(tái)

    • 大的自偏壓

    • 淋浴頭氣流分布

    • 極限真空5x10-7Torr,20分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6Torr級別

    • 渦輪分子泵

    • 至多支持5個(gè)MFC

    • 無繞曲氣體管路

    • 自動(dòng)下游壓力控制

    • 雙刻蝕能力:RIE以及PE刻蝕(可選)

    • 終點(diǎn)監(jiān)測

    • 氣動(dòng)升降頂蓋

    • 自動(dòng)上下載片

    • 預(yù)真空鎖

    • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制

    • 菜單驅(qū)動(dòng),4級密碼訪問保護(hù)

    • 完全的安全聯(lián)鎖

    • 可選ICP離子源以及低溫冷卻樣品臺(tái),用于深硅刻蝕

     

    產(chǎn)品型號:

    • NRE-4000:基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的獨(dú)立式系統(tǒng),占地面積26“D x 44"W

    • NRE-3500:基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的緊湊型獨(dú)立式系統(tǒng),占地面積26“D x 26"W

    • NRE-3000:基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的臺(tái)式系統(tǒng),占地面積26“D x 26"W

    • NRP-4000:RIE/PECVD雙系統(tǒng)

    • NDR-4000:深RIE刻蝕(深硅刻蝕)系統(tǒng)

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