一．設(shè)備原理

LPX Synapse 等離子刻蝕機(jī)利用等離子刻蝕原理---- 通過(guò)施加高頻電場(chǎng)于暴露在電子區(qū)域的氣體形成電離氣體和釋放高能電子組成的氣體。電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。半導(dǎo)體相關(guān)基片送入被真空泵抽空的反應(yīng)室，氣體被導(dǎo)入并與等離子體進(jìn)行交換。等離子體在基片表面發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)的揮發(fā)性副產(chǎn)物被真空泵抽走，從而在基片上形成被光刻膠定義的刻蝕形貌。等離子體刻蝕工藝實(shí)際上便是一種反應(yīng)性等離子工藝。

SPTS的刻蝕機(jī)臺(tái)利用電感耦合ICP刻蝕原理，有別于傳統(tǒng)的利用電容耦合的RIE工藝，使用一上一下兩個(gè)等離子源。其中上等離子源利用高頻對(duì)參與反應(yīng)的氣體進(jìn)行解離，下等離子源利用高頻在基片表面感應(yīng)出偏壓來(lái)引導(dǎo)氣體離子團(tuán)進(jìn)行各向異性刻蝕。刻蝕過(guò)程中伴隨著物理和化學(xué)過(guò)程。一般物理過(guò)程作用于分子化合鍵的分解，而化學(xué)過(guò)程作用于斷鍵后基團(tuán)與反應(yīng)氣體離子的反應(yīng)，形成易于氣化的成分被真空部分移除。對(duì)于介質(zhì)材料來(lái)說(shuō)，物理過(guò)程和化學(xué)過(guò)程同樣重要，物理過(guò)程決定了刻蝕速率，刻蝕形貌以及刻蝕深度。而化學(xué)過(guò)程決定了刻蝕速率，副反應(yīng)產(chǎn)物的移除有效程度以及刻蝕均勻性。

SPTS的Synapse是在Aps基礎(chǔ)上研發(fā)的最新一代的等離子刻蝕機(jī)，結(jié)合自身數(shù)十年的介質(zhì)刻蝕工藝研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，通過(guò)獨(dú)到的一些硬件技術(shù)如平板式ICP源，靜電吸盤+機(jī)械壓盤輔助載片方式，帶腔壁加熱以及磁場(chǎng)控制技術(shù)等來(lái)應(yīng)對(duì)新一代電源芯片器件。

Synapse等離子刻蝕機(jī)利用等離子體進(jìn)行薄膜微細(xì)加工的技術(shù)，在典型的反應(yīng)離子刻蝕工藝過(guò)程中，一種或多種氣體原子或分子（常用的為氟基氣體：SF6、C4F8、Ar，O2）混合于反應(yīng)腔室中，在外部射頻發(fā)生器（RF Generator）能量的作用下形成等離子體：一方面等離子體中的活性基團(tuán)與待刻蝕表面材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成可揮發(fā)產(chǎn)物；另一方面等離子體中的離子在偏壓的作用下被引導(dǎo)和加速，對(duì)表面進(jìn)行定向的腐蝕和加速腐蝕，該技術(shù)不僅有高的刻蝕速率，而且可以有良好的方向性和選擇比，能在刻蝕材料硅（Silicon）的表面形成精細(xì)的圖形。干法刻蝕工藝過(guò)程是化學(xué)反應(yīng)作用和物理轟擊作用的結(jié)合。

二．設(shè)備功能描述

Synapse刻蝕設(shè)備主要由操作控制系統(tǒng)、工藝腔室、預(yù)真空室、真空系統(tǒng)、RF源和自動(dòng)匹配器、ICP源和自動(dòng)匹配系統(tǒng)以及基片冷卻系統(tǒng)等部分組成，適用于超凈間隔墻安裝，操作區(qū)域位于高潔凈度環(huán)境，真空泵組及工藝腔室等部分位于較低潔凈度環(huán)境，系統(tǒng)滿足對(duì)各種介質(zhì)襯底包括碳化硅，氧化硅，氮化硅的刻蝕需要。設(shè)備布置合理，在設(shè)備設(shè)計(jì)時(shí)充分考慮減少設(shè)備占用面積和留足維修空間，預(yù)真空室、工藝腔室和真空管道預(yù)留氦質(zhì)儀檢漏口，另外預(yù)真空室、工藝腔室還預(yù)留兩個(gè)空置測(cè)量接口，以應(yīng)對(duì)維護(hù)維修要求。設(shè)備的機(jī)械部分設(shè)計(jì)、加工、焊接、裝配要符合中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)或ISO國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的要求，企業(yè)內(nèi)部標(biāo)準(zhǔn)高于國(guó)標(biāo)或ISO標(biāo)準(zhǔn)的企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)工藝操作系統(tǒng)采用工控機(jī)電腦控制，外設(shè)備控制計(jì)算機(jī)，可實(shí)時(shí)記錄工藝狀態(tài)情況，可對(duì)工藝程序及結(jié)果進(jìn)行保存（可保存3年以上的數(shù)據(jù)）、復(fù)制、導(dǎo)出等操作，具有數(shù)據(jù)備份功能。