一、 產(chǎn)品用途及特點(diǎn)

本設(shè)備主要適用于6英寸及以下半導(dǎo)體材料（如硅、碳化硅、砷化鎵、磷化銦…等）及藍(lán)寶石、硅化物、陶瓷、玻璃、水晶等硬脆材料的高速高精度多片切割加工,主要有以下特點(diǎn):

1. 設(shè)備具有精密溫度控制系統(tǒng)，采用熱交換器對(duì)切削液進(jìn)行冷卻，以確保切削液的溫度控制，切片精度高，翹曲度小，切片質(zhì)量穩(wěn)定，切割成本小。

2.該設(shè)備采用全伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，導(dǎo)輪使用少，路徑簡(jiǎn)短，穩(wěn)定可靠，裝配維修迅速。

3.電氣控制系統(tǒng)采用貝加萊控制系統(tǒng)及伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，控制精度高、響應(yīng)速度快，并具有能量回饋功能（可將減速過(guò)程中的動(dòng)能轉(zhuǎn)化為電能回饋至電網(wǎng)），降低了運(yùn)行成本；齊備的工藝參數(shù)設(shè)置顯示，擁有20套20步的切割工藝，最大限度的發(fā)揮設(shè)備硬件功能；另有自定義選項(xiàng)，用于滿足客戶的特殊操作要求；并可選配工廠網(wǎng)絡(luò)接口，可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控。

4. 該設(shè)備采用雙主輥同步拖動(dòng)，能夠減少羅拉磨損、保證線網(wǎng)張力的穩(wěn)定、張力擺臂穩(wěn)定。主軸各導(dǎo)輪采用間隙迷宮結(jié)構(gòu)，并輔以壓縮空氣進(jìn)行密封；軸承潤(rùn)滑采用脂潤(rùn)滑方式，安裝維護(hù)方便；軸承座外周設(shè)有冷水套，對(duì)主軸內(nèi)的軸承進(jìn)行強(qiáng)制冷卻。

5.設(shè)備具有斷線檢測(cè)功能，及時(shí)報(bào)警停機(jī)，準(zhǔn)確可靠。

6.設(shè)備操作簡(jiǎn)單，保養(yǎng)方便。

二、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)

1、最大加工尺寸

方料：（寬×高×長(zhǎng)）150mm×150mm×300mm

圓料：（直徑×長(zhǎng)度）φ150mm×300mm

2、線輥主軸

主軸參數(shù)：φ190mm±7.5mm×310mm×2軸

軸間距：450mm

3、切割線

切割最大線速度：        15m/s 

鋼線直徑：              φ0.10mm～φ0.25mm

供線輪繞線能力：        30km×1

4、工作臺(tái)

升降行程：             最大225mm

切削速度：              0.01-9.99mm/min（根據(jù)用戶工藝可自行設(shè)定）

快速移動(dòng)速度：         最高300mm/min

 5、主軸擺動(dòng)

擺動(dòng)角度：             ±7deg

主軸擺動(dòng)速度：         30次/min

6、供砂系統(tǒng)

        液桶容量：             90L

供砂量：               最大200L/min

砂漿溫度控制方式：     熱交換器冷卻

7、動(dòng)力單元功率

主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)：             17.8kW       （交流伺服）   

切割線供給/回收電機(jī)：      7.37kW×2    （交流伺服）  

排線電機(jī)：                 0.33kW×2    （交流伺服）   

工作臺(tái)升降電機(jī)（帶減速）   1.45kW       （交流伺服）

張力控制電機(jī)：             4.15kW×2    （交流伺服）

 主軸擺動(dòng)電機(jī)（帶減速）：   1.8 W         (交流伺服）   

砂漿泵電機(jī)：               4kW/3kW      （變頻控制）

8、外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高）： 2550 mm×1900 mm×2450mm

9、設(shè)備重量：              約5500kg

10、噪聲：                 ≦75dB(A)

三、產(chǎn)品選配表：

●標(biāo)配  ○可選裝

四、使用環(huán)境：

設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦，安裝厚度應(yīng)大于300mm，遠(yuǎn)離振動(dòng)源，無(wú)灰塵煙霧污染的場(chǎng)所。

1、工作溫度：                  15℃-25℃

2、氣源：                      0.4-0.6MPa    

3、相對(duì)濕度                    ≦90%

3、冷水水源：                  0.25-0.4MPa   100-150L/min   7-12℃

4、電源：                      AC380V，50Hz (三相五線制)