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詳細(xì)介紹

>> 產(chǎn)品特點(diǎn)

立式中型等離子清洗機(jī)，觸摸電腦+PLC多步流程全自動(dòng)控制，全電路檢測(cè)，用于BGA、COB、CSP、LED封裝制程清洗有機(jī)物及氧化物，中批量生產(chǎn)機(jī)型。
>> 技術(shù)參數(shù)
◆ 設(shè)備外形尺寸(不包括報(bào)警燈)
650(W)×900(D)×1600(H)mm
◆ 倉(cāng)體結(jié)構(gòu)(合金鋁，約100升)
420(W)×420(D)×570(H)mm

◆ 放電電極

9層鋁合金放電電極,陽(yáng)極氧化處理

◆ 等離子發(fā)生器(美國(guó)MKS)
頻率13.56MHZ,功率0-600W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配,全電路保護(hù),可連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間工作

◆ 控制系統(tǒng)

PLC觸摸屏控制,采用歐姆龍、西門(mén)子等世界著名品牌電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式

◆ 真空系統(tǒng)
日本愛(ài)發(fā)科(ULVAC)機(jī)械真空泵 VDN901 (23L/S)

臺(tái)灣氣動(dòng)真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國(guó)英?？祲毫鞲衅?/span>

◆ 壓力控制

PID閉環(huán)自動(dòng)穩(wěn)壓控制

◆ 充氣系統(tǒng)

美國(guó)AE高精度電子質(zhì)量流量計(jì)(兩路氣體配制)、針閥
美國(guó)世偉洛克氣體管路及接口組件，德國(guó)雙級(jí)減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件

>> 相關(guān)應(yīng)用

- 光刻膠清洗

- 表面改性

等離子清洗機(jī)、活化機(jī)、灰化機(jī)、刻蝕機(jī)

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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等離子清洗機(jī)、活化機(jī)、灰化機(jī)、刻蝕機(jī)

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