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主機(jī)參數(shù)規(guī)格
射頻發(fā)生器：40KHz；0-100W
整機(jī)功率：不超過(guò)300W (不含真空泵)
清洗艙規(guī)格：φ 130mm ; L 160mm ；不銹鋼材質(zhì)艙體+艙門帶有觀察窗
清洗艙有效容積：大約3L
氣體流量計(jì)：1路浮子流量計(jì)
控制系統(tǒng)：半自動(dòng)控制

數(shù)字計(jì)時(shí)器：可設(shè)定處理時(shí)間 1-9999S
工藝氣體接口：標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)徑4mm，外徑6mm軟管
整機(jī)供電：220V / 8A
整機(jī)尺寸：W 650mm ; H 300mm ; D 450mm
配套附件：托盤一個(gè)，波紋管一條（連接主機(jī)與真空泵），快插轉(zhuǎn)換頭一個(gè)（6mm）

真空泵參數(shù)
型號(hào)：VRI-2
抽速：2m³/h

等離子清洗機(jī)PT-03-LF

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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