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關注:1301
FEMTO COVANCE-MPR 等離子表面處理系統(tǒng)
規(guī)格型號:
COVANCE-MPR
庫 存:
10
產(chǎn) 地:
全國
COVANCE-MPR 等離子表面處理系統(tǒng) 產(chǎn)品規(guī)格
真空室:190 × 240 × 160(W × D × H / mm)
氣 路:標準一路氣體(最多3路氣體,MFC)
電 源:50kHz,200W
操作界面:全自動&手動操作(觸摸屏模式)
壓力監(jiān)測:大氣壓~ 1×10-3 Torr
選配項:電源功率升級(最大300W)
射頻電源(13.56MHz,最高300W,包括水冷)
粉末處理系統(tǒng)
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