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>> 等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)

臺(tái)式小型機(jī)，PLC人機(jī)自動(dòng)控制，內(nèi)部無(wú)電極，用于低污染及高潔凈材料表面清洗、刻蝕、活化等工藝。

>> 等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)

◆ 設(shè)備外形尺寸

630(W)×650(D)×420(H)mm

◆ 倉(cāng)體結(jié)構(gòu)(合金鋁，約30升)

290(W)×290(H)×360(D)mm

◆ 放電電極(內(nèi)置電容耦合電極)

180(W) ×210(D) mm

◆ 等離子發(fā)生器(韓國(guó)KM)

頻率13.56MHZ,功率0-300W連續(xù)調(diào)節(jié),自動(dòng)阻抗匹配

可選擇40KHZ中頻等離子發(fā)生器(0-300W)

◆ 控制系統(tǒng)

觸摸屏（7寸）+PLC單步法全自動(dòng)控制,采用歐姆龍、西門(mén)子等世界著名品牌電器元件, 并具有手動(dòng)、自動(dòng)兩種模式

◆ 真空系統(tǒng)

德國(guó)萊寶(Leybold)真空泵 D16C (20m3/h)

SMC截止閥、充氣閥，德國(guó)(Inficon)壓力傳感器

◆ 壓力控制

PID閉環(huán)自動(dòng)穩(wěn)壓控制

◆ 氣路系統(tǒng)

2路工藝氣體配置，電子質(zhì)量流量計(jì)、針閥，美國(guó)飛托克(FITOK)氣體管路

>> 相關(guān)應(yīng)用

- 光刻膠清洗

- 表面改性

等離子刻蝕機(jī)、去膠機(jī)、清洗機(jī)

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

產(chǎn)品品牌

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等離子刻蝕機(jī)、去膠機(jī)、清洗機(jī)

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