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    德Diener等離子清洗機(jī)Tetra-30-LF型

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    真空等離子清洗機(jī)

    運(yùn)費(fèi)說(shuō)明:

    包郵

    庫(kù)       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    全國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:

    型號(hào):

    所屬系列:真空等離子清洗機(jī)


    etra-30-LF型 等離子清洗/刻蝕機(jī)---全自動(dòng)控制型,適合清潔,蝕刻,活化
    30公升小型等離子機(jī)TETRA-30-LF,全自動(dòng)控制,主要用于清潔,蝕刻,活化
     
    技術(shù)資料:
    外型尺寸: W 600 mm, H 800 mm, D 650 mm
    反應(yīng)室尺寸: W 305 mm, H 300 mm, L 370 mm (可選:L 625mm)
    反應(yīng)室容積: 約 34 公升
    氣體供應(yīng): 針閥控制型,雙氣體通道
    射頻發(fā)生器: 40kHz/0-1000 W(可選: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
    真空泵: Leybold, Type  D16B(16 m3/h) 
    托盤: 最多6件托盤(選項(xiàng) : 旋轉(zhuǎn)圓筒)
    控制方式: 全自動(dòng)控制, 計(jì)時(shí)器控制制程時(shí)間
    選購(gòu)/ 附件 配件導(dǎo)購(gòu) ]   下列為可搭配的等離子機(jī)配件:
    1.   13.56 MHz - 射頻發(fā)生器
    以 DIN EN 55011為準(zhǔn),我們的13.56 MHz 射頻發(fā)生其為石英穩(wěn)定型。手動(dòng)和自動(dòng)阻抗匹配。主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榛罨?,清潔,蝕刻,半導(dǎo)體(前端),半導(dǎo)體(后端),等離子體聚合。
     2.   40kHz - 射頻發(fā)器                                                                                  
    自動(dòng)阻抗匹配,雙功率執(zhí)行器。主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榛罨?,清潔,蝕刻,半導(dǎo)體(后端),等離子體聚合。
    3.    2.45 GHz - 射頻發(fā)生器 (微波
    0-300瓦功率,PC接口。主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榛罨?,清潔,半?dǎo)體(前端),半導(dǎo)體(后端),等離子體聚合。
    4.   2/2 液體配量閥
    可實(shí)現(xiàn)液體單體定量配給。
     5.   半自動(dòng)控制系統(tǒng)
    祥見(jiàn):等離子機(jī)/控制系統(tǒng)/半自動(dòng)控制系統(tǒng)
    6.      全自動(dòng)控制系統(tǒng)
    祥見(jiàn):等離子機(jī)/控制系統(tǒng)/全自動(dòng)控制系統(tǒng)
    7.      電腦控制系統(tǒng)
    祥見(jiàn):等離子機(jī)/控制系統(tǒng)/電腦控制系統(tǒng)
    8.   PCCE-控制系統(tǒng)
    采用Windows CE 觸摸屏。 祥見(jiàn):等離子機(jī)/控制系統(tǒng)/PCCE控制系統(tǒng)
     9.   活性炭過(guò)濾器
    容易拆換         
    10.      真空抽氣入口過(guò)濾器
    保護(hù)真空泵被周圍物件,涂料,和污染損傷
    11.           11.   自動(dòng)門
    制程中自動(dòng)鎖閉,安全可靠
    12.      條碼閱讀器 
                        
      13.   加熱艙
    帶調(diào)節(jié)器,可加熱至 80°C 。適用于特定制程條件并提高蝕刻率。
    14.   偏壓測(cè)量系統(tǒng)
    kHz- und MHz-射頻發(fā)生器自帶偏壓測(cè)量系統(tǒng)。
     15.  噴水式飲水口瓶
    屬于聚合附件,用于將液體單體灌注于真空艙內(nèi)。
     16.  蝴蝶閥
                       
    17.   不同語(yǔ)種文獻(xiàn)
    所有等離子機(jī)系統(tǒng)不自帶不屬機(jī)械指令89/392/EWG的非英語(yǔ)及德語(yǔ)語(yǔ)言,若有特殊需求需單獨(dú)定購(gòu)。
    18.   旋轉(zhuǎn)圓筒
    如用于固體工件處理。
                         
    19   測(cè)壓儀
    以Pirani傳感器 或 Baratron 顯示器 顯示真空艙內(nèi)壓。
    20.   氣瓶減壓閥
    聯(lián)接于氣瓶-200巴。不同氣體需用不同氣瓶減壓閥。一種適用于H2, O2, CF4, C4F8 ,一種適用于NH3。
                              
    21.   連續(xù)運(yùn)作系統(tǒng)
    使低壓等離子系統(tǒng)在工作線上得以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。
    22.   標(biāo)準(zhǔn)備件或全氟聚醚(PFPE)
    標(biāo)準(zhǔn)備件包括1個(gè)張力環(huán),1個(gè)密封襯墊,1個(gè)不銹鋼波管(真空管) , 1個(gè)窗玻璃,1個(gè)門密封襯墊,10個(gè)等離子機(jī)系統(tǒng)精密安全環(huán) ,  1真空泵礦物油。(全氟聚醚(PFPE)標(biāo)準(zhǔn)備件含1升PFPE真空泵油)
                                  
    23.   標(biāo)簽打印機(jī)
    等離子體處理后自動(dòng)打印標(biāo)簽
                                 

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