*真空艙體 Φ100mm × L270 mm 水平 (2 升)

*不銹鋼艙體  

* 40KHz射頻發(fā)生器

*高效針孔電極 

*銅氣體管、氣體流量計(jì)、針閥
* 使用氣體流量計(jì)和針閥控制氣體

*自動(dòng)計(jì)時(shí)器控制等離子處理過(guò)程 

*半自動(dòng)控制

*功率連續(xù)可調(diào) 0-100W

*自動(dòng)阻抗匹配
* 自由設(shè)置參數(shù)：處理時(shí)間、功率、氣體

*安全保護(hù)功能：真空觸發(fā)、艙門(mén)鎖

*電磁閥保護(hù)，回流油霧不能進(jìn)入艙體

*規(guī)格：W345 mm×H220 mm× D420 mm
* 電源：AC 220V/50Hz 

*真空泵：萊寶Leybold Type S1.5(1.5m3/h).

選裝件.
* 13.56 MHz射頻發(fā)生器
* 2.45 GHz 射頻發(fā)生器
* 硅酸鹽艙體(外置環(huán)形電極)或石英艙體

配件選裝指南:

• · 射頻發(fā)生器     · 射頻發(fā)生器    · 半自動(dòng)控制系統(tǒng)    · 全自動(dòng)控制系統(tǒng) - 操作輕松簡(jiǎn)便的控制系統(tǒng)
• · 計(jì)算機(jī)(PC)控制系統(tǒng) - 操作輕松簡(jiǎn)便的控制系統(tǒng)同時(shí)可記錄處理的整個(gè)過(guò)程
• · 附加氣體通路   · 自動(dòng)真空艙門(mén)   · 設(shè)備自動(dòng)門(mén)    · 條碼閱讀器   · 偏壓測(cè)量系統(tǒng)   · 碟型閥   · 排氣過(guò)濾系統(tǒng)   · 適用于腐蝕性氣體系統(tǒng)   · 艙體托盤(pán)可訂做 - 適合艙體的最佳尺寸   · 粉末處理裝置    · 法拉第容器    · 氣體供給系統(tǒng) - 在等離子聚合過(guò)程中提供密度均勻的單體   · 玻璃艙體(硅酸鹽或石英)    · 預(yù)熱板     · 等離子測(cè)量傳感器 - 應(yīng)用在等離子聚合過(guò)程和含腐蝕性環(huán)境中

 · 真空泵抽氣入口過(guò)濾器    · 標(biāo)簽打印機(jī)    · 標(biāo)簽閱讀機(jī)   · 加深艙體    · 單體瓶 - 輕松的控制不穩(wěn)定的液體含量  

• · 網(wǎng)絡(luò)連接系統(tǒng)  · 聚合處理附件    · 氣瓶出氣減壓閥  · 石英玻璃皿  · 卷軸艙體系統(tǒng)- 適用于批量處理薄膜、箔等  
• · RIE電極(適用于刻蝕)   · 旋轉(zhuǎn)艙體系統(tǒng) - 適用于纖維、紡輪、顆粒狀等樣品的均勻、批量處理           · 安全閥
• · 服務(wù)條約 - 使用易燃、易爆性氣體，例如：氫氣、乙炔…

 · 附加的配件    · 特殊的電極和托盤(pán)      · 特殊法蘭/附加法蘭    · 特殊軟件  · 特殊真空艙體    · 過(guò)程溫度測(cè)量 

• · 測(cè)試墨水(用于測(cè)試表面接觸角)   · 真空泵系統(tǒng)