按照用戶需求設(shè)計(jì)生產(chǎn)
系統(tǒng)組成:擴(kuò)散爐主機(jī)、推拉舟及凈化工作臺(tái)、氣源柜、排毒柜、微機(jī)控制柜
擴(kuò)散爐管數(shù):1~4管
主要技術(shù)指標(biāo):
★爐管內(nèi)徑:¢90~¢350(2英寸~8英寸)
★恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度:≤1000mm±0.5℃(300℃~1290℃)
★控溫儀表:進(jìn)口高精度控溫儀
★氣源路數(shù):主管道1~4路
★氣體種類:N2、H2、O2、HCL等
★氣源控制:MFC或浮子流量計(jì)
★推拉舟行程:最大2000mm
★推拉舟速度范圍及精度:(20~1000)±2mm/min
★推拉舟方式:簡(jiǎn)易式、懸臂式、SiC硅槳式
★冷卻方式:水冷+風(fēng)冷
★工控機(jī):工控機(jī)控制
設(shè)備特性:
具有多條工藝曲線,調(diào)用方便快捷;運(yùn)行中,具有停電記憶功能;
觸摸微機(jī)界面,操作方便;具有超溫保護(hù)功能