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    包郵 關(guān)注:598

    擴(kuò)散爐

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類(lèi)設(shè)備-管式爐

    產(chǎn)品品牌

    青島育豪

    庫(kù)       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    中國(guó)

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:青島育豪

    型號(hào):

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類(lèi)設(shè)備-管式爐

     按照用戶(hù)需求設(shè)計(jì)生產(chǎn)
    系統(tǒng)組成:擴(kuò)散爐主機(jī)、推拉舟及凈化工作臺(tái)、氣源柜、排毒柜、微機(jī)控制柜
    擴(kuò)散爐管數(shù):
    1~4
    主要技術(shù)指標(biāo):
    ★爐管內(nèi)徑:
    ¢90~¢3502英寸~8英寸)   
    ★恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度:≤
    1000mm±0.5℃300℃~1290℃
    ★控溫儀表:進(jìn)口高精度控溫儀   
    ★氣源路數(shù):主管道
    1~4路   
    ★氣體種類(lèi):
    N2H2、O2HCL
    ★氣源控制:
    MFC或浮子流量計(jì)   
    ★推拉舟行程:最大
    2000mm
    ★推拉舟速度范圍及精度:(
    20~1000±2mm/min    
    ★推拉舟方式:簡(jiǎn)易式、懸臂式、
    SiC硅槳式
    ★冷卻方式:水冷
    +風(fēng)冷    
    ★工控機(jī):工控機(jī)控制
    設(shè)備特性:
    具有多條工藝曲線(xiàn),調(diào)用方便快捷;運(yùn)行中,具有停電記憶功能;
    觸摸微機(jī)界面,操作方便;具有超溫保護(hù)功能

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    4001027270

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