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ò真空燒結(jié)爐主要應(yīng)用于電力半導(dǎo)體器件,燒結(jié),焊接等工藝
設(shè)備參數(shù):
ò管路數(shù):1-3管
ò★口徑:Φ100mm?-Φ350mm???(用戶自定義??????
★工作方式:共用一套加熱體,A、B、C管交替工作
ò★工作溫度:300-1000℃?????
★恒溫區(qū)400mm-1000mm±3℃
ò★冷態(tài)真空度:5Χ10-4Pa????????
★真空系統(tǒng):機(jī)械泵+K300擴(kuò)散泵★閥門(mén):Φ300氣動(dòng)擋板閥為主閥和進(jìn)口電磁閥加熱?????????
★功率:47KW
ò★真空計(jì):復(fù)合數(shù)字表???????
★充氣種類(lèi):N2、Ar、H2
ò★控制系統(tǒng)全自動(dòng)、手動(dòng)