主要用作半導(dǎo)體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式熱壁系統(tǒng)的加熱裝置。可與美國TEMPRESS、美國TYAN、美國THERMCO、荷蘭ASM、英國BTU、日本TEL等國外多種型號(hào)擴(kuò)散爐配套（替代進(jìn)口），采用國外先進(jìn)的加工工藝，選用進(jìn)口材料，制作而成。可用于2-8英寸硅片的擴(kuò)散工藝。
產(chǎn)品特性：
◆滿足2"-8"立式、臥式晶圓擴(kuò)散爐
◆保溫材料：英國摩根進(jìn)口保溫層
◆絕緣材料：高精度99瓷拉條絕緣子
◆使用溫度：value="350" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">350℃—value="1300" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">value="1300" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1300℃
◆外 殼：不銹鋼板/鋁板
◆端 口：優(yōu)質(zhì)氧化鋁氧化鋯
◆控溫段：3-7段控溫
◆ 口 徑：Φvalue="80" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">80mm—Φvalue="450" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">450mm
◆恒溫區(qū)：100value="1300" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">-1300mm
◆質(zhì)保壽命：≧12個(gè)月（溫度1250℃以上）
≧18個(gè)月（溫度value="1250" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1250℃以下）
◆供貨周期：第一次做的型號(hào)約二十天，再次做同類型號(hào)的約十天
◆單點(diǎn)穩(wěn)定性: ≦±0.5℃／24h
◆控溫精度：≦±value=".5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">0.5℃（801~1300℃）
≦±1℃（200~800℃）
◆升降溫速率：升溫速率25℃／min
降溫速率：value="5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">5℃／min（601~1300℃）
value="4" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">4℃／min（401~value="600" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">value="600" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">600℃）
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