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    擴散爐爐體

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設備-爐類設備-管式爐

    產(chǎn)品品牌

    賽爾微

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:賽爾微

    型號:

    所屬系列:半導體加工設備-爐類設備-管式爐

     主要用作半導體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式熱壁系統(tǒng)的加熱裝置??膳c美國TEMPRESS、美國TYAN、美國THERMCO、荷蘭ASM、英國BTU、日本TEL等國外多種型號擴散爐配套(替代進口),采用國外先進的加工工藝,選用進口材料,制作而成??捎糜?/span>2-8英寸硅片的擴散工藝。

    產(chǎn)品特性:
    ◆滿足2"-8"立式、臥式晶圓擴散爐    
    ◆保溫材料:英國摩根進口保溫層

    ◆絕緣材料:高精度99瓷拉條絕緣子
    ◆使用溫度:
    value="350" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">350value="1300" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">value="1300" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1300
    ◆外  殼:不銹鋼板/鋁板

    ◆端  口:優(yōu)質(zhì)氧化鋁氧化鋯
    ◆控溫段:3-7段控溫
    ◆ 口  徑:Φ
    value="80" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">80mm—Φvalue="450" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">450mm
    ◆恒溫區(qū):100
    value="1300" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">-1300mm

    ◆質(zhì)保壽命:≧12個月(溫度1250℃以上)

                18個月(溫度value="1250" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1250以下)

    ◆供貨周期:第一次做的型號約二十天,再次做同類型號的約十天

    ◆單點穩(wěn)定性≦±0.5℃/24h

    ◆控溫精度:≦±value=".5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">0.5801~1300℃) 

    ≦±1℃(200~800℃)

    ◆升降溫速率:升溫速率25℃/min

    降溫速率:value="5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">5min601~1300℃)

    value="4" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">4min401~value="600" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">value="600" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">600

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