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    包郵 關(guān)注:746

    擴(kuò)散爐(程控)

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-管式爐

    產(chǎn)品品牌

    賽爾微

    庫       存:

    10

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:賽爾微

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-管式爐

     程控擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體器件及大規(guī)模集成電路制造過程中用于對晶片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝的一種熱加工設(shè)備

    產(chǎn)品特點: 
    主機(jī)為水平一至三管爐系統(tǒng)構(gòu)架,能獨立完成不同的工藝或相同工藝 
    儀表控制系統(tǒng),對爐溫、氣體流量、閥門等動作進(jìn)行自動控制 
    關(guān)鍵部件采用進(jìn)口器件,確保設(shè)備的高可靠性 
    控溫精度高,溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好; 
    具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護(hù)功能 
    高質(zhì)量的加熱爐體,確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長壽命

    擴(kuò)散爐主要技術(shù)指標(biāo) 
    1
    、工藝說明 
    1.1
    工藝:氧化、擴(kuò)散、合金、退火等 
    1.2
    氧化:干氧工藝,濕氧工藝(去離子水) 
    1.3
    擴(kuò)散:硼擴(kuò)、磷擴(kuò)(液態(tài)源、固態(tài)源等)

    2、系統(tǒng)組成:主機(jī)(爐體、石英/SiC管、功率組件等)、凈化工作臺、氣路氣源系統(tǒng)(氣源柜)、儀表控系統(tǒng)等組成

    3、送片方式:手動送片/自動送片

    4、擴(kuò)散爐配置(可選):
    4.1
    儀表控制/觸摸屏控制 
    4.2
    工藝管(水平結(jié)構(gòu)):1-3 
    4.3
    工藝規(guī)格:2~6英寸晶圓
    4.4
    恒溫區(qū)長度:1100
    value="250" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">-250mm
    4.5
    晶圓裝載:推拉式(石英舟車) 
    4.6
    工作臺:有凈化/無凈化

    5、擴(kuò)散爐主要技術(shù)參數(shù): 
    5.1
    工作溫度:200
    value="1300" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1300
    5.2
    加熱體控制點:3/5
    5.3
    爐體恒溫區(qū):
    value="110" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">110mmvalue="200" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">-200mm 
    5.4
    恒溫區(qū)精度:>
    value="800" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">800value=".5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">value=".5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">0.5 ,<value="800" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">800value="1" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">value="1" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1
    5.5
    單點溫度穩(wěn)定性:600
    value="1300" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1300/ ±value=".5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">value=".5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">0.5/24h
    5.6
    最大可控升溫速度:
    value="15" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">15/min
    5.7
    最大降溫速度:
    value="5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">5/min900value="1300" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1300
    5.8
    供電:三相五線,380VAC/50HZ

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