產(chǎn)品特點： 
◆主機(jī)為水平一至三管爐系統(tǒng)構(gòu)架，能獨立完成不同的工藝或相同工藝 
◆儀表控制系統(tǒng)，對爐溫、氣體流量、閥門等動作進(jìn)行自動控制 
◆關(guān)鍵部件采用進(jìn)口器件，確保設(shè)備的高可靠性 
◆控溫精度高，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好； 
◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護(hù)功能 
◆高質(zhì)量的加熱爐體，確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長壽命

擴(kuò)散爐主要技術(shù)指標(biāo) 
1、工藝說明 
1.1工藝：氧化、擴(kuò)散、合金、退火等 
1.2氧化：干氧工藝，濕氧工藝（去離子水） 
1.3擴(kuò)散：硼擴(kuò)、磷擴(kuò)（液態(tài)源、固態(tài)源等）

2、系統(tǒng)組成：主機(jī)（爐體、石英/SiC管、功率組件等)、凈化工作臺、氣路氣源系統(tǒng)（氣源柜）、儀表控系統(tǒng)等組成

3、送片方式：手動送片/自動送片

4、擴(kuò)散爐配置（可選）：
4.1儀表控制/觸摸屏控制 
4.2工藝管（水平結(jié)構(gòu)）：1-3管 
4.3工藝規(guī)格：2~6英寸晶圓
4.4恒溫區(qū)長度：1100value="250" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">-250mm
4.5晶圓裝載：推拉式（石英舟車） 
4.6工作臺：有凈化/無凈化

5、擴(kuò)散爐主要技術(shù)參數(shù)： 
5.1工作溫度：200～value="1300" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1300℃
5.2加熱體控制點：3/5點
5.3爐體恒溫區(qū)：value="110" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">110mmvalue="200" unitname="mm" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">-200mm 
5.4恒溫區(qū)精度：＞value="800" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">800℃/±value=".5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">value=".5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">0.5℃ ，＜value="800" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">800℃/±value="1" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">value="1" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1℃
5.5單點溫度穩(wěn)定性：600～value="1300" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1300℃/ ±value=".5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">value=".5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">0.5℃/24h
5.6最大可控升溫速度：value="15" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">15℃/min
5.7最大降溫速度：value="5" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">5℃/min（900～value="1300" unitname="℃" w:st="on" style="padding: 0px; margin: 0px;">1300℃）
5.8供電：三相五線，380VAC/50HZ