□ 可測片徑:3in、4in、6in
□ 顯微鏡:單目電子顯微鏡,光學(xué)放大倍數(shù)0.35X ~ 2.25X
□ 工作臺(tái)行程:X140mm×Y162mm
□ 工作臺(tái)速度:X:120mm/s、Y:100mm/s
□ 定位精度:±0.015mm/110mm
□ 重復(fù)定位精度:±0.005mm
□ 步進(jìn)分辨率:0.002mm
□ 承片臺(tái)Z向行程:0~3mm可調(diào)
□ θ向調(diào)節(jié)范圍:±15°
□ XY向自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)精度:≤0.02°
□ 掃描對(duì)準(zhǔn)時(shí)間:≤20s
□ 外形尺寸:(長×寬×高)660mm×850mm×1400mm