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    自動掃描四探針測試儀 上海載德半導(dǎo)體

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

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    自動掃描四探針測試儀 上海載德半導(dǎo)體

    技術(shù)規(guī)格：

    1. 面電阻量測范圍： 1 mΩ/sq. to 2 MΩ/sq.(或更高)

    2. 樣品尺寸：支持10mm至300mm wafer

    3. 量測系統(tǒng)包括：Jandel RM3000測試單元

    4. 測試精度：0.05% at 23℃

    5. 溫度可變范圍：-100℃ ~ 200℃

    6. 軟件操作簡單可以支持with Windows XP, Windows 7 或Windows 8操作系統(tǒng)，USB2.0 或USB3.0接口

    7. 可選擇量測晶圓上1, 5, 9, 25, 49, or 121個測試點或者自定義量測圖

    8. 可繪制2D和3D數(shù)據(jù)結(jié)果圖

    9. 輸出電阻，電阻率和厚度等量測結(jié)果

    10. 系統(tǒng)支持JANDEL探測頭，插入式更換，操作簡單

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