二、設(shè)備安裝及廠務需求:
1. 電源:AC220V 60Hz 500VA(若買方廠務電源條件不滿足,賣方負責增配變壓器)
2. 設(shè)備尺寸:(W)700×(D)700×(H)1400mm
3. 設(shè)備重量:約300kg
三、設(shè)備指標:
1. 適用產(chǎn)品WAFER SIZE: 3”以下(邊長50mm)
CHIP SIZE: 最短邊200μm 以上
2. 芯片固定環(huán)Flat Ring(DTF-2-6-1) 內(nèi)徑=193mm 外徑=228mm 厚度=1 mm
3. Work Table (θ軸) 旋轉(zhuǎn): 110
Pulse Motor / Pulley: 驅(qū)動
分解能: 0.01
精度: ±0.02/90
固定方式: 彈簧夾固定
4. Work Table (X/Y 軸) AC Servo Motor: 滾珠螺桿驅(qū)動
速度: 50mm / Sec MAX
移動量: 55mm
分解能: 0.2μm
精度: (移動50mm 時)±5μm
5. 受臺尺寸: 60mm×9mm×1 組
溝寬: 1μm~1mm Pulse Motor 移動
精度: ±5μm
左右微調(diào): Micrometer Head
6. 陶瓷劈刀(Z 軸) Pulse Motor: 滾珠螺桿驅(qū)動
移動量: 70mm
分解能: 1μm
精度: ±5μm
劈裂長度: 50mm
劈刀長度: 35mm 或2mm
切入量: 0.01~1.0mm
7. 圖像處理系統(tǒng)下方裝設(shè)高倍黑白對位用CAMERA,加裝同軸照明、Monitor;
圖像處理系統(tǒng)內(nèi)藏于PC,影像顯示于Monitor 上。
8. 數(shù)據(jù)設(shè)定劈斷次數(shù): 0-999
運送量: 0-9.999mm
技術(shù)協(xié)議書
Cut Address: 0-99999μm
劈刀待機位置: 0-99999μm
劈刀速度: 0-99 mm/Sec
劈刀切入量: 0.01-1.00mm
劈刀下降時停止時間: 0-1.000 mSec
受臺間隔: 0-1000μm
Total Cut 次數(shù): 0-99999 次
9. 設(shè)定數(shù)據(jù)之存取設(shè)定加工參數(shù)值會依產(chǎn)品種類不同分別儲存于硬盤中,如將已儲存檔案叫出,
則原來已被儲存之設(shè)定參數(shù)值會自動設(shè)定于機臺。(最多30 種)
10. 操作面板1) ON/OFF
2) START
3) STOP
4) RESET
5) X、Y、θ動作
6) CUTTER UP/DOWN
7) 受刀開/關(guān)
8) 緊急停止
11. 指示燈與蜂鳴器紅燈: 異常閃爍
黃燈: 自動作業(yè)結(jié)束閃爍
綠燈: 自動作業(yè)中燈亮
蜂鳴: 異常及自動作業(yè)結(jié)束時鳴叫提醒操作員