二、設(shè)備安裝及廠務(wù)需求:
1. 電源:AC220V 60Hz 500VA(若買方廠務(wù)電源條件不滿足,賣方負(fù)責(zé)增配變壓器)
2. 設(shè)備尺寸:(W)700×(D)700×(H)1400mm
3. 設(shè)備重量:約300kg
三、設(shè)備指標(biāo):
1. 適用產(chǎn)品WAFER SIZE: 3”以下(邊長(zhǎng)50mm)
CHIP SIZE: 最短邊200μm 以上
2. 芯片固定環(huán)Flat Ring(DTF-2-6-1) 內(nèi)徑=193mm 外徑=228mm 厚度=1 mm
3. Work Table (θ軸) 旋轉(zhuǎn): 110
Pulse Motor / Pulley: 驅(qū)動(dòng)
分解能: 0.01
精度: ±0.02/90
固定方式: 彈簧夾固定
4. Work Table (X/Y 軸) AC Servo Motor: 滾珠螺桿驅(qū)動(dòng)
速度: 50mm / Sec MAX
移動(dòng)量: 55mm
分解能: 0.2μm
精度: (移動(dòng)50mm 時(shí))±5μm
5. 受臺(tái)尺寸: 60mm×9mm×1 組
溝寬: 1μm~1mm Pulse Motor 移動(dòng)
精度: ±5μm
左右微調(diào): Micrometer Head
6. 陶瓷劈刀(Z 軸) Pulse Motor: 滾珠螺桿驅(qū)動(dòng)
移動(dòng)量: 70mm
分解能: 1μm
精度: ±5μm
劈裂長(zhǎng)度: 50mm
劈刀長(zhǎng)度: 35mm 或2mm
切入量: 0.01~1.0mm
7. 圖像處理系統(tǒng)下方裝設(shè)高倍黑白對(duì)位用CAMERA,加裝同軸照明、Monitor;
圖像處理系統(tǒng)內(nèi)藏于PC,影像顯示于Monitor 上。
8. 數(shù)據(jù)設(shè)定劈斷次數(shù): 0-999
運(yùn)送量: 0-9.999mm
技術(shù)協(xié)議書
Cut Address: 0-99999μm
劈刀待機(jī)位置: 0-99999μm
劈刀速度: 0-99 mm/Sec
劈刀切入量: 0.01-1.00mm
劈刀下降時(shí)停止時(shí)間: 0-1.000 mSec
受臺(tái)間隔: 0-1000μm
Total Cut 次數(shù): 0-99999 次
9. 設(shè)定數(shù)據(jù)之存取設(shè)定加工參數(shù)值會(huì)依產(chǎn)品種類不同分別儲(chǔ)存于硬盤中,如將已儲(chǔ)存檔案叫出,
則原來已被儲(chǔ)存之設(shè)定參數(shù)值會(huì)自動(dòng)設(shè)定于機(jī)臺(tái)。(最多30 種)
10. 操作面板1) ON/OFF
2) START
3) STOP
4) RESET
5) X、Y、θ動(dòng)作
6) CUTTER UP/DOWN
7) 受刀開/關(guān)
8) 緊急停止
11. 指示燈與蜂鳴器紅燈: 異常閃爍
黃燈: 自動(dòng)作業(yè)結(jié)束閃爍
綠燈: 自動(dòng)作業(yè)中燈亮
蜂鳴: 異常及自動(dòng)作業(yè)結(jié)束時(shí)鳴叫提醒操作員