服務(wù)熱線
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揚(yáng)州市神州科技有限公司成立于2003年,現(xiàn)有專業(yè)技術(shù)人員40人, 員工50人, 專業(yè)從事射頻等離子體電源的維修、維護(hù)及銷售,主要服務(wù)內(nèi)容包括:為半導(dǎo)體工廠,液晶面板工廠等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等國際品牌的射頻電源、直流電源、匹配器、RPS及各類半導(dǎo)體設(shè)備維修、銷售、客戶方案定制與老式機(jī)型替代,并提供現(xiàn)場支持服務(wù)。
公司主要客戶:TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。
二、產(chǎn)品介紹
AE PDX 1250 / 325-450 KHz / 1250 W 射頻電源
Physical | |
Size | 89mm(H)x483mm(W)x483mm(D) 3.5″(H)x19″(W)x20″(D) standard rack mount |
Weight | < 14kg(31Ib) |
Customer Interface | User port and/or active front-panel controls |
User Port Connector | 25-pin,sub-miniature D,male |
Serial Port Connector | None |
50W Output Connector and Load Match Output Connector | N or C |
Electrical | |
RF Output Power | 18 to 1250W |
Frequency | 325 to 450kHz |
Load Match Transformer | 10 to 350Ω,7 taps |
Internal Reactive Match | Inductor |
Maximum Reflected Power | 250W |
Harmonics | At full rated power,all harmonics are>50dB below the fundanmental output frequency |
Input Voltage | 180 to 253 VAC 50/60 Hz,single φ |
Input current | 15ARMSmax |
Maximum Output Voltage | 300 V |
Maximun Output Current | 6A |
Regulatory Accuracy | 1% of set point or 2 W,whichever is greater |
Environmental | |
Operating Temperature | 35℃(95℉)max |
Cooling | Air(gas),35℃(95℉)max |
更多信息請與我們聯(lián)系!
三、品質(zhì)保障
我們所銷售的電源、匹配器及RPS等如無特殊說明,均提供6個(gè)月的免費(fèi)保修服務(wù)。
我們?yōu)殇N售產(chǎn)品提供終身維修服務(wù),并可提供EXCHANGE服務(wù),保證客戶的生產(chǎn)正常進(jìn)行。
四、運(yùn)輸
我們?yōu)樗谐鰪S的機(jī)器提供最結(jié)實(shí)的包裝,保證運(yùn)輸過程中機(jī)器的安全。
購買之前,如有問題,請向我們咨詢