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一、公司介紹

工程工作現(xiàn)場全景

揚州市神州科技有限公司成立于2003年，現(xiàn)有專業(yè)技術(shù)人員40人, 員工50人, 專業(yè)從事射頻等離子體電源的維修、維護及銷售，主要服務(wù)內(nèi)容包括：為半導(dǎo)體工廠，液晶面板工廠等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等國際品牌的射頻電源、直流電源、匹配器、RPS及各類半導(dǎo)體設(shè)備維修、銷售、客戶方案定制與老式機型替代，并提供現(xiàn)場支持服務(wù)。
公司主要客戶：TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。

二、產(chǎn)品介紹

AE CESAR 1350 RF Generator 13.56MHz(5000W)射頻電源

Specification
Frequency	13.560 MHz +/- 0.005%
Max output power	5000 W into a 50??load
Min output power	50 W into a 50??load
Reflected power limit	1000 W
Delivered power into mismatch	20% depending on the load impedance
Load impedance	50Ω
RF connector	50Ω, 7/16 type, female
RF power regulation mode	P forward, P delivered, or DC selfbias voltage
Regulation (of set point)	1.0 or 0.1% of full-rated power, whichever is greater, into a 50Ωload

Harmonics	-45 dBc at full-rated power
Spurious content	-60 dBc max at full-rated power
Pulse mode	Yes
Pulse repetition frequency	1 to 30 kHz
Pulse duty cycle	1% to 99%

CEX operation mode	Yes
CEX input signal as required	0 to +10 dbm
CEX output signal specifications	+3 to +10 dbm
CEX connector (50??)	BNC, female
Display	LCD graphic display
Display	256 x 132 dots , black / white

AC line voltage (3-phase)	3 x 200 VAC (180 VAC to 230 VAC)
AC line frequency	50/60 Hz
AC line current (per phase)	3 x 26 A nominal line, full power
AC input power	8100 VA
Efficiency line to load	65%
Power factor	90%
AC mains connection	Open mains cable at full power

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更多信息請與我們聯(lián)系！

三、品質(zhì)保障

我們所銷售的電源、匹配器及RPS等如無特殊說明，均提供6個月的免費保修服務(wù)。

我們?yōu)殇N售產(chǎn)品提供終身維修服務(wù)，并可提供EXCHANGE服務(wù)，保證客戶的生產(chǎn)正常進行。

四、運輸

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我們?yōu)樗谐鰪S的機器提供最結(jié)實的包裝，保證運輸過程中機器的安全。

AE CESAR 1350 RF GEN 13.56MHz(5000W)射頻電源維修及銷售

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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