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揚(yáng)州市神州科技有限公司成立于2003年，現(xiàn)有專業(yè)技術(shù)人員40人, 員工50人, 專業(yè)從事射頻等離子體電源的維修、維護(hù)及銷售，主要服務(wù)內(nèi)容包括：為半導(dǎo)體工廠，液晶面板工廠等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等國(guó)際品牌的射頻電源、直流電源、匹配器、RPS及各類半導(dǎo)體設(shè)備維修、銷售、客戶方案定制與老式機(jī)型替代，并提供現(xiàn)場(chǎng)支持服務(wù)。
公司主要客戶：TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。
二、產(chǎn)品介紹
AE Paramount 1513 1500W(13.56MHz)射頻電源
| Electrical | |
| Output Power | |
| RF Power | 1.5 kW |
| Regulation Modes | Standard: Forward, load |
| available: output voltage, external feedback loop | |
| Frequencies | 13.56 mHz |
| Frequency tuning ±5% | |
| Frequency Resolution | 1 Hz |
| Max Reflected Power | 600 w, selectable |
| Power Accuracy | into 50 Ω: ±1 w or ±1% of set point, whichever is greater |
| into 3:1 VSwr: ±1 w or ±2% of set point, which ever is greater | |
| Input Power | 200/208 VaC ±10%, 50 to 60 Hz ±3 Hz |
| Available Features | |
| Pulse Mode | Pulsing frequencies: 10 Hz to 100 kHz |
| Pulsing duty cycle: 10 to 90% | |
| Pulse Synchronization | master/slave pulse coordination |
| individually programmable pulse on- and off-times | |
| Frequency Tuning | < 10 ms tune time |
| Arc Management | Programmable arc-management parameters, including detect |
| time, shutdown time, and voltage level | |
| Phase Synchronization (CEX) | output waveform synchronization for connected power supplies |
| user-adjustable phase offset, 0 to 359° | |
| HALO | High accuracy, low output performance |
| Physical | |
| Dimensions | 13.3 cm (H) x 21.6 cm (W) x 44.5 cm (D) |
| 5.25" (H) x 8.5" (W) x 17.5" (D) | |
| Weight | < 16 kg (35 lb) |
| Connector and Cable Specifications | |
| Output Power | Female Hn |
| Input Power | Standard: Harting ® Han-Q with switch |
| available: Harting ® Han-Q without switch | |
| User Port | 25-pin, female, sub-miniature D |
| Host Port | 9-pin, female, sub-miniature D |
| I/O Control | |
| Analog Interface | 25-pin, female, sub-miniature D |
| Serial Interface | Standard: rS-232, ethernet |
| available: ethernet, Devicenet ® , Profibus, etherCat ® | |
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三、品質(zhì)保障
我們所銷售的電源、匹配器及RPS等如無(wú)特殊說(shuō)明，均提供6個(gè)月的免費(fèi)保修服務(wù)。
我們?yōu)殇N售產(chǎn)品提供終身維修服務(wù)，并可提供EXCHANGE服務(wù)，保證客戶的生產(chǎn)正常進(jìn)行。
四、運(yùn)輸
我們?yōu)樗谐鰪S的機(jī)器提供最結(jié)實(shí)的包裝，保證運(yùn)輸過(guò)程中機(jī)器的安全。
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