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當(dāng)前位置: 首頁 » 設(shè)備館 » 半導(dǎo)體二手設(shè)備 » 二手電源、射頻 »MKS ASTRONhf++ 30LRPS 遠(yuǎn)程等離子體電源 維修及銷售
    包郵 關(guān)注:365

    MKS ASTRONhf++ 30LRPS 遠(yuǎn)程等離子體電源 維修及銷售

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體二手設(shè)備-二手電源、射頻

    產(chǎn)品品牌

    MKS

    規(guī)格型號(hào):

    30L

    發(fā)貨期限:

    10天天

    運(yùn)費(fèi)說明:

    包郵

    庫       存:

    8

    產(chǎn)       地:

    全國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價(jià)       格:

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌:MKS

    型號(hào):30L

    所屬系列:半導(dǎo)體二手設(shè)備-二手電源、射頻

    一、公司介紹

    工程工作現(xiàn)場全景

    揚(yáng)州市神州科技有限公司成立于2003年,現(xiàn)有專業(yè)技術(shù)人員40人, 員工50人, 專業(yè)從事射頻等離子體電源的維修、維護(hù)及銷售,主要服務(wù)內(nèi)容包括:為半導(dǎo)體工廠,液晶面板工廠等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等國際品牌的射頻電源、直流電源、匹配器、RPS及各類半導(dǎo)體設(shè)備維修、銷售、客戶方案定制與老式機(jī)型替代,并提供現(xiàn)場支持服務(wù)。 
    公司主要客戶:TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。

      

    二、產(chǎn)品介紹

    MKS ASTRONhf++  RPS / 30L

     

     

    Operating Voltage Range 200/208 VAC ±10%
    Operating Frequency 50/60 Hz
    Current 70 Amps RMS (per phase)
    Voltage 5% (THD)
    Voltage Imbalance 10% (per phase)
    Source Impedance Ground 10%
    Leakage Current 25 mA
    Cooling Water
    Quality Facility water
    Filtration 50 Micron
    Minimum Flow Rate During Operation: 3.5 GPM
    During Idle: 0.5 GPM
    Cooling Channel Pressure Drop 17 psi
    Inlet Pressure 100 psig
    Inlet Temperature Maximum: 30°C
    Minimum: Ambient Dew Point or 15°C
    Typical Cooling Load <10 kW (NF3)
    Lower Limit Flow Set Point 3.5 GPM
    Internal Cooling Wetted Materials Copper, Stainless Steel
    Ambient Conditions
    Operating Temperature 40°C
    Storage Conditions -25 to +85°C
    Process Gases
    100% NF3 Grade 4N


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    更多信息請與我們聯(lián)系!

     

    三、品質(zhì)保障

    我們所銷售的電源、匹配器及RPS等如無特殊說明,均提供6個(gè)月的免費(fèi)保修服務(wù)。

    我們?yōu)殇N售產(chǎn)品提供終身維修服務(wù),并可提供EXCHANGE服務(wù),保證客戶的生產(chǎn)正常進(jìn)行。

     

    四、運(yùn)輸

     

    包裝箱方式

    我們?yōu)樗谐鰪S的機(jī)器提供最結(jié)實(shí)的包裝,保證運(yùn)輸過程中機(jī)器的安全。

     

     

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    服務(wù)熱線

    4001027270

    功能和特性

    價(jià)格和優(yōu)惠

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