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一、公司介紹

工程工作現(xiàn)場全景

揚州市神州科技有限公司成立于2003年，現(xiàn)有專業(yè)技術人員40人, 員工50人, 專業(yè)從事射頻等離子體電源的維修、維護及銷售，主要服務內容包括：為半導體工廠，液晶面板工廠等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等國際品牌的射頻電源、直流電源、匹配器、RPS及各類半導體設備維修、銷售、客戶方案定制與老式機型替代，并提供現(xiàn)場支持服務。
公司主要客戶：TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。

二、產品介紹

AE CESAR 1310 RF Generator 13.56MHz(1000W) 射頻電源

Specification
Frequency	13.560 MHz +/- 0.005%
Max output power	1000 W into a 50??load
Min output power	10 W into a 50??load
Reflected power limit	200 W
Delivered power into mismatch	20% depending on the load impedance
Load impedance	50Ω
RF connector	50Ω, N-type, female
RF power regulation mode	P forward, P delivered, or DC selfbias voltage
Regulation (of set point)	1.0 or 0.1% of full-rated power, whichever is greater, into a 50Ωload

Harmonics	-50 dBc at full-rated power
Spurious content	-60 dBc max at full-rated power
Pulse mode	Yes
Pulse repetition frequency	1 to 30 kHz
Pulse duty cycle	1% to 99%

CEX operation mode	Yes
CEX input signal as required	0 to +10 dbm
CEX output signal specifications	+3 to +10 dbm
CEX connector (50??)	BNC, female
Display	LCD graphic display
Display	256 x 132 dots , black / white

Cooling	Air cooling
Air cooling requirement	118 m/h3
AC Power Line
AC line voltage (1-phase)	230 VAC (187 AC to 253 VAC)
AC line frequency	50/60 Hz
AC line current (per phase)	6.5 A nominal line, full power
AC input power	1490 VA
Overcurrent limit (per phase)	10 A to be created by user through fuse or circuit breaker
Efficiency line to load	66% at full power, nominal line
Power factor	97% to 99% at max power
AC mains connection	IEC 320 at full power

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更多信息請與我們聯(lián)系！

三、品質保障

我們所銷售的電源、匹配器及RPS等如無特殊說明，均提供6個月的免費保修服務。

我們?yōu)殇N售產品提供終身維修服務，并可提供EXCHANGE服務，保證客戶的生產正常進行。

四、運輸

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我們?yōu)樗谐鰪S的機器提供最結實的包裝，保證運輸過程中機器的安全。

AE CESAR 1310 RF 13.56MHz(1000W) 射頻電源維修及銷售

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