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熱門產(chǎn)品

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一、公司介紹

工程工作現(xiàn)場(chǎng)全景

揚(yáng)州市神州科技有限公司成立于2003年，現(xiàn)有專業(yè)技術(shù)人員40人, 員工50人, 專業(yè)從事射頻等離子體電源的維修、維護(hù)及銷售，主要服務(wù)內(nèi)容包括：為半導(dǎo)體工廠，液晶面板工廠等提供AE, MKS(ENI), DAIHEN, AD-TEC, KYOSAN, RFPP等國(guó)際品牌的射頻電源、直流電源、匹配器、RPS及各類半導(dǎo)體設(shè)備維修、銷售、客戶方案定制與老式機(jī)型替代，并提供現(xiàn)場(chǎng)支持服務(wù)。
公司主要客戶：TSMC, HYNIX, SMIC, IVO, JCAP, MEMSIC, HHNEC, SZ TIANMA, HEJIAN, JA SOLAR,SONY, TOSHIBA, BEST SOLAR等。

二、產(chǎn)品介紹

AE Paramount 6013 6000W(13.56MHz)射頻電源

Electrical
Output Power
RF Power	6 kW
Regulation Modes	Standard: Forward, load
Regulation Modes	available: output voltage, external feedback loop
Frequencies	13.56 mHz
Frequencies	Frequency tuning ±5%
Frequency Resolution	1 Hz
Max Reflected Power	600 w, selectable
Power Accuracy	into 50 Ω: ±1 w or ±1% of set point, whichever is greater
Power Accuracy	into 3:1 VSwr: ±1 w or ±2% of set point, which ever is greater
Input Power	200/208 VaC ±10%, 50 to 60 Hz ±3 Hz
Available Features
Pulse Mode	Pulsing frequencies: 10 Hz to 100 kHz
Pulse Mode	Pulsing duty cycle: 10 to 90%
Pulse Synchronization	master/slave pulse coordination
Pulse Synchronization	individually programmable pulse on- and off-times
Frequency Tuning	< 10 ms tune time
Arc Management	Programmable arc-management parameters, including detect
Arc Management	time, shutdown time, and voltage level
Phase Synchronization (CEX)	output waveform synchronization for connected power supplies
Phase Synchronization (CEX)	user-adjustable phase offset, 0 to 359°
HALO	High accuracy, low output performance

Connector and Cable Specifications
Output Power	Female Hn
Input Power	Standard: Harting ® Han-Q with switch
Input Power	available: Harting ® Han-Q without switch
User Port	25-pin, female, sub-miniature D
Host Port	9-pin, female, sub-miniature D
I/O Control
Analog Interface	25-pin, female, sub-miniature D
Serial Interface	Standard: rS-232, ethernet
Serial Interface	available: ethernet, Devicenet ® , Profibus, etherCat ®

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更多信息請(qǐng)與我們聯(lián)系！

三、品質(zhì)保障

我們所銷售的電源、匹配器及RPS等如無特殊說明，均提供6個(gè)月的免費(fèi)保修服務(wù)。

我們?yōu)殇N售產(chǎn)品提供終身維修服務(wù)，并可提供EXCHANGE服務(wù)，保證客戶的生產(chǎn)正常進(jìn)行。

四、運(yùn)輸

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我們?yōu)樗谐鰪S的機(jī)器提供最結(jié)實(shí)的包裝，保證運(yùn)輸過程中機(jī)器的安全。

AE Paramount 6013 6000W(13.56MHz)射頻電源維修及銷售

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

產(chǎn)品品牌

規(guī)格型號(hào)：

發(fā)貨期限：

運(yùn)費(fèi)說明：

庫(kù) 存：

產(chǎn) 地：

數(shù) 量：

價(jià) 格：

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