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    擴散爐（微控）

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-爐類設備-管式爐

    產(chǎn)品品牌

    賽爾微

    庫       存：

    10

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：賽爾微

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-爐類設備-管式爐

     微控擴散爐應用：應用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池等領域，適用2~8英寸工藝尺寸

    產(chǎn)品特點： 
    ◆主機為水平一至四管爐系統(tǒng)構架，能獨立完成不同的工藝或相同工藝 
    ◆工業(yè)計算機控制系統(tǒng)，對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門等動作進行全自動控制 
    ◆采用懸臂式送片：操作方便、無摩擦污染等 
    ◆關鍵部件采用進口器件，確保設備的高可靠性 
    ◆工藝管路采用進口閥門管件組成-氣密性好、耐腐蝕、無污染（管路均采用EP級電拋光管路），氣體流量采用質量流量計（MFC）控制 
    ◆控溫精度高，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好； 
    ◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能 
    ◆高質量的加熱爐體，確保恒溫區(qū)的高穩(wěn)定性及長壽命

     

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