由于SIC爐管價值高,訂貨周期長,若有損壞,不單是財產(chǎn)的損失,還會給正常生產(chǎn)造成很大的影響,所以SIC爐管一直以來都是設(shè)備維護人員的重點保護對象。工程師們?yōu)榱朔乐挂驙t絲變形而損毀SIC管,不得不周期性的對爐筒進行檢查以及其他費時費力的工作,占用了工程師和維護人員很多精力和時間,而這種模式仍存在很大的安全隱患。由于生產(chǎn)安排比較緊,不可能經(jīng)常性down機檢查爐筒,工程師檢查爐管周期約為2-3個月,那在這2-3個月中,對于使用時間較長的爐體來說就可能會出現(xiàn)SIC損壞。
國外進口高溫擴散爐(配SIC爐管),都配有相應(yīng)的SIC報警和聯(lián)動裝置,在發(fā)生危險情況時,報警或跳閘;而國內(nèi)設(shè)備廠家在做此類設(shè)備時,由于缺乏這種安全意識以及限于技術(shù)和成本考慮,幾乎都會將此保護裝置省掉,給設(shè)備使用廠家造成了很多不必要的麻煩!
國外進口的SIC管保護儀價格不菲,是造成半導(dǎo)體工廠一直沒有采用的主要原因。為了解決這一矛盾性問題,S01-SIC保護儀應(yīng)運而生!
S01-SIC爐管保護儀,是在總結(jié)了國外同類產(chǎn)品技術(shù)特點的基礎(chǔ)上,由青島賽爾微電子有限公司開發(fā)的產(chǎn)品。此保護儀專用于半導(dǎo)體工廠SIC管的保護,對SIC管實時監(jiān)控,一旦出現(xiàn)危險情況,馬上報警或切斷加熱爐體電源,能切實的保護SIC管的使用安全,防止因爐絲變形而損壞SIC爐管,保護半導(dǎo)體廠家的財產(chǎn)安全。
S01-SIC保護儀采用了模塊化的設(shè)計思想,關(guān)鍵部位全部固化和灌封,并且出廠前全部經(jīng)過30×24小時高溫老化,可靠性極高。