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    包郵 關(guān)注:987

    LHQ-200型PECVD淀積系統(tǒng) Leuven魯汶儀器(中國北京)

    應用于半導體行業(yè):

    半導體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-PECVD

    產(chǎn)品品牌

    Leuven

    規(guī)格型號:

    LHQ-200A型PECVD淀積系統(tǒng)

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-北京市

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:Leuven

    型號:LHQ-200A型PECVD淀積系統(tǒng)

    所屬系列:半導體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-PECVD


    LHQ-200型PECVD淀積系統(tǒng) Leuven魯汶儀器(中國北京)

    產(chǎn)品展示薄膜鍍膜

     

    LHQ-200A型PECVD淀積系統(tǒng)

     

     

    系統(tǒng)簡介

    l具有平行板電極結(jié)構(gòu),可進行8英寸片薄膜生長的單腔室設(shè)備。

    l能淀積SiO2,SiN以及本征α-Si等薄膜。

    l適用于半導體器件和IC制備中鈍化膜的淀積。

    l采用帶觸摸屏的集成工控機自動控制工藝流程,可靠性高,工藝重復性好,經(jīng)久耐用。

    l用戶可自設(shè)定和記錄多種實驗程序,操作簡單、效率高。

    l可廣泛地用于微電子、光電子、太陽電池、半導體器件和傳感器等領(lǐng)域。

    機器性能

    1、可以在200℃~300℃下淀積SiN、SiO2和不摻雜的非晶硅等薄膜;

    2、均勻性:≤±5%;

    3、淀積速率: SiO2≥30nm/min (采用Ar稀釋的5%安全濃度的SiH4)。

    標準配置

    1、陽極氧化鋁反應腔室;

    2、載片臺(下電極)可放最大樣片尺寸:8"圓片或152mm×152mm的方片。樣片溫度在200~350℃可調(diào);

    3、5路進氣,5個數(shù)字式質(zhì)量流量計控制流量,可定制增減;

    4、射頻電源,帶自動匹配器;

    5、分子泵機組抽本底真空,機械泵抽淀積時的反應氣體;

    6、工藝過程由帶觸摸屏的集成工控計算機控制。工藝條件可預設(shè)定;

    7、有嚴格的撿漏、互鎖、報警和強排風等防毒、防爆的安全措施。

    關(guān)于我們

     

    江蘇魯汶儀器有限公司是由比利時魯汶儀器、中科院微電子研究所等共同注資成立。公司總部位于江蘇省邳州市,在比利時設(shè)有研發(fā)中心及銷售部,在北京和俄羅斯設(shè)有銷售部。公司秉承“以創(chuàng)新為主導,客戶信賴為第一”的宗旨,倡導精益求精的工匠精神,為客戶提供性能卓越的半導體研發(fā)、生產(chǎn)、材料檢測等精密設(shè)備及配套技術(shù)服務。

    公司旨在研發(fā)與生產(chǎn)大學實驗室、研究所及半導體生產(chǎn)線所需儀器設(shè)備,瞄準定制化市場。主要產(chǎn)品有薄膜材料納米孔徑分析儀、高端平臺刻蝕機、等離子體刻蝕系列設(shè)備、化學氣相沉積系列設(shè)備、濺射薄膜鍍膜系列設(shè)備、原子層鍍膜系列設(shè)備、濕法清洗刻蝕系列設(shè)備等,公司擁有自主專利技術(shù),核心產(chǎn)品技術(shù)國際領(lǐng)先。

    公司堅持以人為本,技術(shù)團隊囊括諾貝爾獎獲得者、兩名“千人計劃”專家,多名國內(nèi)外半導體領(lǐng)域知名教授及高??蒲性核哪贻p技術(shù)骨干。國際一流的人才團隊為公司保持技術(shù)領(lǐng)先、實現(xiàn)創(chuàng)新驅(qū)動打下了堅實的基礎(chǔ)。

    公司致力于成為全球一流的半導體設(shè)備供應商,愿與客戶、供應商、業(yè)界同仁及投資者共同開拓和締造半導體設(shè)備領(lǐng)域的廣闊未來!

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    提問:
     

    你們這個是平板式雙反應室的嗎?有多少個質(zhì)量流量計?

    dssj  2017-07-13

     這個設(shè)備可以帶load-lock傳輸腔室,也可以是手動開腔。商城上傳的是帶有l(wèi)oad-lock的機型。流量計數(shù)量根據(jù)工藝要求定制,淀積常規(guī)的硅材料,不做摻雜,通常是6~7路氣體。帶有自動干法清洗。
    可以留個聯(lián)系方式,具體事宜可以面談。

    2017-07-20

    應用于半導體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品:

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    4001027270

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